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當(dāng)前位置：> 供求商機(jī)> 用 EMA有效介質(zhì)近似法測(cè)厚儀
在顯微鏡視場(chǎng)中測(cè)量任意區(qū)域的薄膜厚度和薄膜質(zhì)量分布
，并以 3D 形式顯示分布
分辨率與可見光波長(zhǎng)光學(xué)涂層測(cè)厚儀相當(dāng)
波長(zhǎng)范圍從 450 nm 到 750 nm，可以 1 nm 的增量
使用與反射膜厚度監(jiān)視器相同的計(jì)算引擎進(jìn)行并行計(jì)算
（1） 數(shù)百層重復(fù)層壓薄膜和溝槽等復(fù)合結(jié)構(gòu)
（2） 用 EMA（有效介質(zhì)近似）法估計(jì)亞微米圖案的密度
（3） 局部結(jié)晶度評(píng)估
您可以根據(jù)工件和應(yīng)用選擇物鏡
這是一種可以通過(guò)顯微圖像光譜可視化透明多層膜的膜厚分布的膜厚計(jì)。
由于薄膜厚度是通過(guò)光學(xué)干涉法計(jì)算的，因此
薄膜厚度分布可以以 0.1 nm 或更低的分辨率以 3D 形式顯示。
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