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MFC330-05S 氣體質量流量控制器，其結構包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統、高精度比例閥和控制系統。
被測氣體進入后，先通過傳感器和旁路分流系統。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態(tài)響應快速調節(jié)氣體流量至設定值。測量與調節(jié)流量的閉環(huán)結構，即使環(huán)境溫度變化或進出口氣壓波動，MFC330-05S 氣體質量流量控制器依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。
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| 產地類別 | 國產 | 產品種類 | 質量式 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 面議 | 介質分類 | 氣體 |
| 應用領域 | 綜合 |
MFC330-05S 氣體質量流量控制器，其結構包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統、高精度比例閥和控制系統。
被測氣體進入后，先通過傳感器和旁路分流系統。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態(tài)響應快速調節(jié)氣體流量至設定值。測量與調節(jié)流量的閉環(huán)結構，即使環(huán)境溫度變化或進出口氣壓波動，MFC330-05S 氣體質量流量控制器依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。
精準質量流量測量/控制
快速響應、高重復性
不受溫度和壓力的影響
工作壓差范圍大：0-1MPa
低壓損可選
全金屬比例閥可選
集成顯示器可選
經濟有效的解決方案
機械特性：
電氣和通訊：
| 滿量程 | 高 | 款 | 深度 | A | B | C | D | E | 重量 |
| 2 sccm~50 slpm | 125.00 mm | 76.00 mm | 32.00 mm | 64.00 mm | 17.80 mm | 7.00 mm | 6.00 mm | M4 ↓ 5 mm | ≈0.96 kg |
| 4.921 in | 2.992 in | 1.260 in | 2.520 in | 0.701 in | 0.276 in | 0.236 in | M4 ↓ 0.197 in | ≈2.1 lb | |
| 100 sccm~500 slpm | 138 mm | 82 mm | 38 mm | 62 mm | 30 mm | 10 mm | 10 mm | M4 ↓ 8 mm | ≈1.3 kg |
| 5.43 in | 3.22 | 1.496 | 2.220 | 1.181 | 0.393 | 0.393 in | M4 ↓ 0.31 in | ≈2.88 lb |
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