目錄:蘇州愛(ài)拓利電子設(shè)備有限公司>>流量計(jì)>>氣體質(zhì)量流量控制器>> MFC330高精度氣體流量計(jì)
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更新時(shí)間:2025-02-19 10:12:57瀏覽次數(shù):161評(píng)價(jià)
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產(chǎn)地類(lèi)別 | 國(guó)產(chǎn) | 產(chǎn)品種類(lèi) | 質(zhì)量式 |
---|---|---|---|
價(jià)格區(qū)間 | 1-5千 | 介質(zhì)分類(lèi) | 氣體 |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,電氣 |
高精度氣體流量計(jì)MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器,其結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。
被測(cè)氣體進(jìn)入后,先通過(guò)傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實(shí)時(shí)測(cè)量氣體流量、高精度比例閥動(dòng)態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值。測(cè)量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu),即使環(huán)境溫度變化或進(jìn)出口氣壓波動(dòng),MFC330 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。
產(chǎn)品特點(diǎn)
精準(zhǔn)質(zhì)量流量測(cè)量/控制
快速響應(yīng)、高重復(fù)性
不受溫度和壓力的影響
工作壓差范圍大:0-1MPa
低壓損可選
全金屬比例閥可選
集成顯示器可選
經(jīng)濟(jì)有效的解決方案
主要參數(shù)
介質(zhì)要求 潔凈干燥氣體
氣體種類(lèi) 98+氣體可選
量程 0-2,10,20,50,100,300,500 sccm
0-1,2,5,10,20,30,50,100,200,500slpm
測(cè)量范圍 0.5%F.S.(1:200)
控制范圍 1%-100% FS.(1:100)
準(zhǔn)確度 ±0.5% F.S.
重復(fù)精度 ±0.2%F.S.
線性度 ±0.2%F.S.
控制響應(yīng)時(shí)間 <3 秒
預(yù)熱時(shí)間 5 min(T95),30 分鐘最佳
閥門(mén) 常閉式
MFC330氣體流量計(jì)廣泛應(yīng)用于以下領(lǐng)域:
半導(dǎo)體制造:用于控制工藝氣體(如氮?dú)狻鍤?、氫氣)的流量?/p>
光伏產(chǎn)業(yè):在薄膜太陽(yáng)能電池制造中,精確控制氣體流量。
化工行業(yè):用于反應(yīng)氣體流量控制,確保反應(yīng)過(guò)程穩(wěn)定。
生物制藥:在發(fā)酵、細(xì)胞培養(yǎng)等過(guò)程中,控制氧氣、二氧化碳等氣體流量。
環(huán)境監(jiān)測(cè):用于氣體采樣和分析系統(tǒng),確保采樣流量準(zhǔn)確。
實(shí)驗(yàn)室研究:在科研實(shí)驗(yàn)中,精確控制氣體流量。
食品和飲料行業(yè):用于氣體混合和包裝過(guò)程中的流量控制。
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