目錄:蘇州愛拓利電子設(shè)備有限公司>>流量計(jì)>>氣體質(zhì)量流量控制器>> MFC330氮?dú)赓|(zhì)量流量控制器
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 產(chǎn)品種類 | 質(zhì)量式 |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 1-5千 | 介質(zhì)分類 | 氣體 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,制藥/生物制藥 |
氮?dú)赓|(zhì)量流量控制器MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器，其結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。
被測氣體進(jìn)入后，先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實(shí)時測量氣體流量、高精度比例閥動態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值。測量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu)，即使環(huán)境溫度變化或進(jìn)出口氣壓波動，MFC330 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。
產(chǎn)品特點(diǎn)
精準(zhǔn)質(zhì)量流量測量/控制
快速響應(yīng)、高重復(fù)性
不受溫度和壓力的影響
工作壓差范圍大：0-1MPa
低壓損可選
全金屬比例閥可選
集成顯示器可選
經(jīng)濟(jì)有效的解決方案
主要參數(shù)
介質(zhì)要求 潔凈干燥氣體
氣體種類 98+氣體可選
量程 0-2，10，20，50，100，300，500 sccm
0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm
測量范圍 0.5%F.S.（1:200）
控制范圍 1%-100% FS.（1:100）
準(zhǔn)確度 ±1% F.S.
重復(fù)精度 ±0.2%F.S.
線性度 ±0.2%F.S.
控制響應(yīng)時間 <3 秒
預(yù)熱時間 5 min（T95），30 分鐘最佳
閥門 常閉式
機(jī)械特性
最大工作壓力 3 MPa（30bar）
工作壓差范圍 0-1 MPa
工作溫度范圍 -20~65℃（環(huán)境和氣體）
溫度范圍 0 ~ 98%無凝露
氣路接頭類型 卡套、VCR、快插、快擰（可選）
氣體接觸材質(zhì) 氟橡膠、304/316不銹鋼
密封材質(zhì) 氟橡膠 FKM
防護(hù)等級 IP40
安裝方式 水平安裝方向校準(zhǔn)
固定孔 M4 ? 5mm
重量 0.96kg
電氣和通訊
電氣連接接口類型 DB-9 公頭
模擬信號 0 - 5 VDC，4 - 20 mA（可定制）
輸入輸出阻抗 輸入阻抗>10MΩ，輸出阻抗<1KΩ
模擬數(shù)據(jù)更新頻率 200Hz
數(shù)字信號 Modbus RTU （RS232， RS485）， CAN
通信速率 9600（默認(rèn)），14400，19200，38400，56000，57600，115200 bps（用戶可修改）
電源 15-40 VDC，<200 mA
顯示更新頻率 50Hz
模擬信號精度 ±0.05%F.S.
(空格分隔,最多3個,單個標(biāo)簽最多10個字符)
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