狠狠色丁香久久综合婷婷亚洲成人福利在线-欧美日韩在线观看免费-国产99久久久久久免费看-国产欧美在线一区二区三区-欧美精品一区二区三区免费观看-国内精品99亚洲免费高清

            您好, 歡迎來到化工儀器網(wǎng)

            | 注冊| 產(chǎn)品展廳| 收藏該商鋪

            18168878188

            business

            首頁   >>   供求商機

            mfc330-微小氣體流量控制器
            • mfc330-微小氣體流量控制器

            貨物所在地:江蘇蘇州市

            地: 蘇州市吳江區(qū)柳胥路99號 半導(dǎo)

            更新時間:2025-01-24 15:47:37

            瀏覽次數(shù):17

            在線詢價收藏產(chǎn)品

            ( 聯(lián)系我們,請說明是在 化工儀器網(wǎng) 上看到的信息,謝謝?。?/p>

            MFC330 熱式氣體質(zhì)量流量計/控制器
            MFM / MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計/控制器, 其結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。
            被測氣體進入后,先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值。測量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu),即使環(huán)境溫度變化或進出口氣壓波動,MFC330依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。

            MFC330 熱式氣體質(zhì)量流量計/控制器

            MFM / MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計/控制器, 其結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。

            被測氣體進入后,先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值。測量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu),即使環(huán)境溫度變化或進出口氣壓波動,MFC330依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。

            介質(zhì)要求 Applicable media

            潔凈干燥氣體 Clean, dry gases

            氣體種類 Gas type

            98+氣體可選 Available for 98+ types of gas

            量程 Full Scale(N2 equivalent)

            0-2, 10, 20, 50, 100, 300, 500 sccm;0-1, 2, 5, 10, 20, 30 slpm

            測量范圍measurement range

            0.5%F.S. (1:200)

            控制范圍 Control range

            1% - 1  00% F.S. (1:100)

            準(zhǔn)確度 Accuracy

            標(biāo)準(zhǔn) Standard±1% F.S.   高精度High Performance±0.5%

            重復(fù)精度Repeatability

            ±0.2% F.S.

            線性度Linearity

            ±0.2% F.S.

            控制響應(yīng)時間 Settling time (in control)

            <3秒  

            預(yù)熱時間 Warm-up time

            5 min (T95), 30分鐘 30min for optimum accuracy

            閥門Valve function

            常閉式 Normally Closed

            泄露率 Leak integrity

            1*10-8 Pa·m3/sec He



            機械特性 MECHANICAL

            工作壓力 Maximum pressure

            3 MPa (30bar

            工作壓差范圍 Operating differential pressure

            0 ~ 1 MPa

            工作溫度范圍Operating temperature range

            -20 ~ 65℃ (環(huán)境和氣體 ambient and gas)

            濕度范圍 Relative humidity range

            0 ~ 98% 無凝露 No-condensing

            氣路接頭類型Process connections

            卡套,、VCR、快插、快擰 (可選)

            (Push-in fitting, Push-on fitting, Compression fitting, VCR optional)

            氣體接觸材質(zhì)Material

            氟橡膠、304/316不銹鋼 (FKM, 300-series Stainless steel)

            密封材質(zhì)Seals

            氟橡膠 FKM

            防護等級 Ingress protection (housing)

            IP40

            安裝方式 Mounting

            水平安裝方向校準(zhǔn) Calibrated in horizontal mounting orientation

            固定孔 Mounting holes

            M4   5mm

            重量 Weight

            0.96 kg




            我公司自主研發(fā)的 MFC330 氣體質(zhì)量流量控制器(以下簡稱 MFC330),

            主要用于對氣體的質(zhì)量流量進行精確測量和控制。采用優(yōu)質(zhì)的核心部件、高

            性能的處理器芯片、智能的控制算法及簡潔直觀的操作界面,使氣體流量控

            制更加精準(zhǔn)、穩(wěn)定和簡便,內(nèi)置溫度和壓力傳感器,采集氣路溫度、壓力值

            外,進一步對氣體流量控制進行溫壓補償;支持多種通訊協(xié)議,可以方便高

            效的與電腦、PLC、工業(yè)觸摸屏、單片機等進行通訊;具有多氣體測量,高

            精度,高穩(wěn)定性,極低零漂等特性。

            MFC330在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工

            業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型

            的應(yīng)用場合包括: 電子工藝設(shè)備, 如擴散、氧化、外延、CVD、等離子刻

            蝕、濺射、離子注入; 以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系

            統(tǒng)、毛細(xì)管測量、氣相色譜儀及其它分析儀器



            會員登錄

            請輸入賬號

            請輸入密碼

            =

            請輸驗證碼

            收藏該商鋪

            標(biāo)簽:
            保存成功

            (空格分隔,最多3個,單個標(biāo)簽最多10個字符)

            常用:

            提示

            您的留言已提交成功!我們將在第一時間回復(fù)您~
            在線留言

            會員登錄

            請輸入賬號

            請輸入密碼

            =

            請輸驗證碼

            收藏該商鋪

            該信息已收藏!
            標(biāo)簽:
            保存成功

            (空格分隔,最多3個,單個標(biāo)簽最多10個字符)

            常用: