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            mfc330-熱式氣體流量計
            • mfc330-熱式氣體流量計

            貨物所在地:江蘇蘇州市

            地: 蘇州市吳江區(qū)柳胥路99號 半導(dǎo)

            更新時間:2025-01-24 15:47:37

            瀏覽次數(shù):27

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            ( 聯(lián)系我們,請說明是在 化工儀器網(wǎng) 上看到的信息,謝謝?。?/p>

            氣體質(zhì)量流量控制器(MFC)與氣體質(zhì)量流量計(MFM),MFC是帶有控制氣體質(zhì)量流量的裝置,而MFM是不具有控制氣體質(zhì)量流量功能的裝置,無錫愛拓利電子科技有限公司作為氣體質(zhì)量流量控制器廠家,生產(chǎn)和出口流量控制器,熱式流量計,氣體流量計,質(zhì)量流量計,質(zhì)量氣體流量計,氧氣流量計,氣體渦輪流量計!

            愛拓利具有高水平的產(chǎn)品設(shè)計、結(jié)構(gòu)、硬件和軟件研發(fā)水平, 擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的氣體質(zhì)量流量計及控制器核心部件(高精度氣體質(zhì)量流量傳感器和高穩(wěn)定性微型比例閥、全金屬密封比例閥)及生產(chǎn)設(shè)備,是國內(nèi)少數(shù)能夠全面自主研發(fā)生產(chǎn)高精度氣體質(zhì)量流量計和氣體質(zhì)量流量控制器的企業(yè)之一?!耙躁P(guān)鍵技術(shù)自主研發(fā)為核心使命、以市場為導(dǎo)向",愛拓利致力于為用戶提供精準(zhǔn)、穩(wěn)定、可靠的標(biāo)準(zhǔn)化產(chǎn)品、定制化服務(wù)和解決方案。

            MFC330 傳感器基于毛細(xì)管柱熱式傳感器,毛細(xì)管傳感器管通過氣體的熱容量來測量其內(nèi)部質(zhì)量流量,氣體的熱量將熱量從上游電阻溫度檢測器繞組帶到下游繞組,二者都在傳感器管的外部。

            需要預(yù)熱: 5min 內(nèi)達(dá)到 95% 流量精度,最長預(yù)熱30min

            響應(yīng)速度較慢:基于熱傳導(dǎo),MFC響應(yīng)速度≤ 1s ,優(yōu)點:由于其非接觸式的結(jié)構(gòu),抗腐蝕,液體不損壞,過流不損壞。

            MFC330 系列氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)

            2 sccm 500 slpm 滿量程

            主要參數(shù) SENSOR AND CONTROL PERFORMANCE

            介質(zhì)要求 Applicable media

            潔凈干燥氣體 Clean, dry gases

            氣體種類 Gas type

            98+氣體可選 Available for 98+ types of gas

            量程 Full Scale(N2 equivalent)

            0-2, 10, 20, 50, 100, 300, 500 sccm;0-1, 2, 5, 10, 20, 30 slpm

            測量范圍measurement range

            0.5%F.S. (1:200)

            控制范圍 Control range

            1% - 1  00% F.S. (1:100)

            準(zhǔn)確度 Accuracy

            標(biāo)準(zhǔn) Standard:±1% F.S.   高精度High Performance:±0.5%

            重復(fù)精度Repeatability

            ±0.2% F.S.

            線性度Linearity

            ±0.2% F.S.

            控制響應(yīng)時間 Settling time (in control)

            <3秒  

            預(yù)熱時間 Warm-up time

            5 min (T95), 30分鐘 30min for optimum accuracy

            閥門Valve function

            常閉式 Normally Closed

            泄露率 Leak integrity

            1*10-8 Pa·m3/sec He

            機械特性 MECHANICAL

            工作壓力 Maximum pressure

            3 MPa (30bar)

            工作壓差范圍 Operating differential pressure

            0 ~ 1 MPa

            工作溫度范圍Operating temperature range

            -20 ~ 65℃ (環(huán)境和氣體 ambient and gas)

            濕度范圍 Relative humidity range

            0 ~ 98% 無凝露 No-condensing

            氣路接頭類型Process connections

            卡套,、VCR、快插、快擰 (可選)

            (Push-in fitting, Push-on fitting, Compression fitting, VCR optional)

            氣體接觸材質(zhì)Material

            氟橡膠、304/316不銹鋼 (FKM, 300-series Stainless steel)

            密封材質(zhì)Seals

            氟橡膠 FKM

            防護等級 Ingress protection (housing)

            IP40

            安裝方式 Mounting

            水平安裝方向校準(zhǔn) Calibrated in horizontal mounting orientation

            固定孔 Mounting holes

            M4   5mm

            重量 Weight

            0.96 kg

            電氣和通訊 COMMUNICATIONS

            電氣連接接口類型Electrical connection

            DB – 9公頭 (Male)

            模擬信號 Analog input and output options

            0 – 5 VDC, 4 20 mA (可定制)

            輸入輸出阻抗 Impedance resistance

            輸入阻抗>10MΩ,輸出阻抗<1KΩ

            模擬數(shù)據(jù)更新頻率Analog data update rate

            200Hz

            數(shù)字信號 Digital input and output options

            Modbu RTU (RS232, RS485), CAN

            通信速率 Digital data update rate

            9600(默認(rèn)), 14400, 19200, 38400, 56000, 57600, 115200 bps(用戶可修改)

            電源 Power requirements

            15 – 40 VDC,<200mA

            顯示更新頻率Display update rate

            50Hz

            模擬信號精度 Analog signal accuracy

            ±0.05%F.S.

            特征 FRATURE

            標(biāo)況 STP reference conditions

            20℃, 1 atm

            氣體選擇Gas Select

            可選,具體參考說明書氣體系數(shù)

            軟件Software

            Aitoly分階流量軟件


            尺寸 DIMENSIONS

            Weight

            Full scale flow

            Height

            Width

            Depth

            A

            B

            C

            D

            E

            2 sccm~30 slpm

            125.00 mm

            76.00 mm

            32.00 mm

            64.00 mm

            17.80 mm

            7.00 mm

            6.00 mm

            M4     5mm

            ≈0.96 kg

            4.921 in

            2.992 in

            1.260 in

            2.520 in

            0.701 in

            0.276 in

            0.236 in

            M4     0.197 in

            ≈2.1 lb

            100slpm-500slpm

            138mm

            82mm

            38mm

            62.mm

            30mm

            4mm

            10mm

            M4     8mm

            1.3kg

            5.43in

            3.22

            1.496

            2.220

            1.181

            0.157

            0.393

            M4    0.31in

            2.88lb



            蘇州愛拓利電子設(shè)備有限公司是一家擁有自主研發(fā)能力的生產(chǎn)銷售于一體的專注微小氣體質(zhì)量流量控制器廠家,現(xiàn)在公司主推MFC330和MFC300兩個系列熱式氣體質(zhì)量流量計MFM,流量控制器MFC。

            我公司自主研發(fā)的 MFC330 氣體質(zhì)量流量控制器(以下簡稱 MFC330),

            主要用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精確測量和控制。采用優(yōu)質(zhì)的核心部件、高

            性能的處理器芯片、智能的控制算法及簡潔直觀的操作界面,使氣體流量控

            制更加精準(zhǔn)、穩(wěn)定和簡便,內(nèi)置溫度和壓力傳感器,采集氣路溫度、壓力值

            外,進(jìn)一步對氣體流量控制進(jìn)行溫壓補償;支持多種通訊協(xié)議,可以方便高

            效的與電腦、PLC、工業(yè)觸摸屏、單片機等進(jìn)行通訊;具有多氣體測量,高

            精度,高穩(wěn)定性,極低零漂等特性。

            MFC330在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工

            業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型

            的應(yīng)用場合包括: 電子工藝設(shè)備, 如擴散、氧化、外延、CVD、等離子刻

            蝕、濺射、離子注入; 以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系

            統(tǒng)、毛細(xì)管測量、氣相色譜儀及其它分析儀器




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