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            MFC330-熱式氣體流量計(jì)
            • MFC330-熱式氣體流量計(jì)

            貨物所在地:江蘇蘇州市

            地: 蘇州吳江區(qū)柳胥路99號(hào)半導(dǎo)體智

            更新時(shí)間:2025-01-08 09:01:26

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            熱式氣體流量計(jì) MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器,其結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。 被測(cè)氣體進(jìn)入后,先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實(shí)時(shí)測(cè)量氣體流量、高精度比例閥動(dòng)態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值。測(cè)量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu),即使環(huán)境溫度變化或進(jìn)出口氣壓波動(dòng),MFC330 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。

            我公司自主研發(fā)的 MFC330 氣體質(zhì)量流量控制器(以下簡稱 MFC330),

            主要用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精確測(cè)量和控制。采用優(yōu)質(zhì)的核心部件、高 性能的處理器芯片、智能的控制算法及簡潔直觀的操作界面,使氣體流量控 制更加精準(zhǔn)、穩(wěn)定和簡便,內(nèi)置溫度和壓力傳感器,采集氣路溫度、壓力值 外,進(jìn)一步對(duì)氣體流量控制進(jìn)行溫壓補(bǔ)償;支持多種通訊協(xié)議,可以方便高 效的與電腦、PLC、工業(yè)觸摸屏、單片機(jī)等進(jìn)行通訊;具有多氣體測(cè)量,高  精度,高穩(wěn)定性,極低零漂等特性。

            MFC330在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工

            業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型 的應(yīng)用場合包括:  電子工藝設(shè)備,  如擴(kuò)散、氧化、外延、 CVD、等離子刻

            蝕、濺射、離子注入;  以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系 統(tǒng)、毛細(xì)管測(cè)量、氣相色譜儀及其它分析儀器。

            熱式氣體流量計(jì)


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