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            MFC300-03D-氣體質(zhì)量流量控制器
            
		
            
		
            
			
		
            
	
            
	
            
		
            
			
            
				
              
					
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						MFC300-03D-氣體質(zhì)量流量控制器
					
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            貨物所在地：江蘇蘇州市
            
                                        				
            更新時(shí)間：2025-01-08 09:01:27
            
				
            瀏覽次數(shù)：72
            
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							MFC300-03D 氣體質(zhì)量流量控制器采用 MEMS 流量傳感器，自帶溫度和壓力補(bǔ)償。具有響應(yīng)速度快，寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點(diǎn)。

					
            
					

            MFC300-03D 氣體質(zhì)量流量控制器，該系列采用 MEMS 流量傳感器，自帶溫度和壓力補(bǔ)償。具有響應(yīng)速度快，寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點(diǎn)。
            氣體質(zhì)量流量控制器
            MFC300-03D 氣體質(zhì)量流量控制器工作原理

            產(chǎn)品特點(diǎn)
            超快響應(yīng)：5ms 測(cè)量響應(yīng)，300ms控制響應(yīng)
            高重復(fù)性，寬量程比
            更小體積，安裝方便
            無需預(yù)熱，使用便捷
            分階流量控制軟件，靈活配置

            主要參數(shù)
            • 介質(zhì)要求
              潔凈干燥無腐蝕性氣體
            • 氣體種類
              Air，N2，02，Ar，CH4，CO2
            • 量程
              0-5，10，20，50，100，300，500 sccm；0-1，2，3，4，5 slpm
            • 測(cè)量和控制范圍
              0.2%-100%F.S. （1:500）
            • 準(zhǔn)確度
              ±0.5%F.S.
            • 重復(fù)精度
              ±0.5%F.S.
            • 線性度
              ±0.2%F.S.
            • 分辨率
              0.1 sccm，0-1000 sccm;1 sccm，1-5 slpm （0.01 sccm，0-50 sccm可選）
            • 傳感器響應(yīng)時(shí)間
              5ms
            • 控制響應(yīng)時(shí)間
              300ms
            • 預(yù)熱時(shí)間
              ≤1s
            • 閥門
              常閉式
            • 泄漏率
              1*10-11Pa.m3/sec He


            機(jī)械特性
            • 最大工作壓力
              1.1 MPa（11bar）
            • 工作壓差范圍
              0-1 MPa
            • 工作溫度范圍
              0-65℃（環(huán)境和氣體）
            • 溫度范圍
              0 - 98%無凝露
            • 氣路接頭類型
              快插、快擰、卡套、VCR（可選）
            • 氣體接觸材質(zhì)
              氟橡膠、黃銅、300-系列不銹鋼、硅
            • 密封材質(zhì)
              氟橡膠 FKM
            • 防護(hù)等級(jí)
              IP40
            • 安裝方式
              任意方向安裝
            • 固定孔
              M4 ↓ 5mm
            • 重量
              0.38kg


            電氣和通訊
            • 電氣連接接口類型
              DB-9 male
            • 輸入輸出阻抗
              輸入阻抗>10MΩ，輸出阻抗<600Ω
            • 數(shù)字信號(hào)
              Modbus RTU（RS232，RS485），CAN
            • 量程
              0-2，10，20，30，100，300，500sccm
              0-1，2，5，10，20，30slpm
            • 通信速率
              9600（默認(rèn)），14400，19200，38400 bps（用戶可修改）
            • 電源
              15-40 VDC，100 mA


            特征
            • 標(biāo)況
              20℃，1 atm
            • 氣體選擇
              可選，具體參考說明書氣體系數(shù)
            • 軟件
              Aitoly分階流量軟件


            尺寸
            滿量程高款深度ABCDE重量
            5 sccm~5 slpm66.20 mm51.00 mm39.00 mm43.70 mm27.40 mm4.30 mm5.80 mmM4 ↓ 5 mm≈0.38 kg
            2.606 in2.008 in1.535 in1.720 in1.079 in0.169 in0.228 inM4 ↓ 0.197 in≈0.84 lb


            氣體質(zhì)量流量控制器
            產(chǎn)品選型
            氣體質(zhì)量流量控制器



            
                                                                				
            

			
            
		
            
	
            
	
            
	

	 		 
	
            
		
            
			
            
				
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