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超快響應(yīng)：5ms 測量響應(yīng)，300ms控制響應(yīng)

高重復(fù)性，寬量程比

更小體積，安裝方便

無需預(yù)熱，使用便捷

分階流量控制軟件，靈活配置

• 介質(zhì)要求

  潔凈干燥無腐蝕性氣體
• 氣體種類

  Air，N2，02，Ar，CH4，CO2
• 量程

  0-5，10，20，50，100，300，500 sccm；0-1，2，3，4，5 slpm
• 測量和控制范圍

  0.2%-100%F.S. （1:500）
• 準(zhǔn)確度

  ±0.5%F.S.
• 重復(fù)精度

  ±0.5%F.S.
• 線性度

  ±0.2%F.S.
• 分辨率

  0.1 sccm，0-1000 sccm;1 sccm，1-5 slpm （0.01 sccm，0-50 sccm可選）
• 傳感器響應(yīng)時間

  5ms
• 控制響應(yīng)時間

  300ms
• 預(yù)熱時間

  ≤1s
• 閥門

  常閉式
• 泄漏率

  1*10-11Pa.m3/sec He

• 最大工作壓力

  1.1 MPa（11bar）
• 工作壓差范圍

  0-1 MPa
• 工作溫度范圍

  0-65℃（環(huán)境和氣體）
• 溫度范圍

  0 - 98%無凝露
• 氣路接頭類型

  快插、快擰、卡套、VCR（可選）
• 氣體接觸材質(zhì)

  氟橡膠、黃銅、300-系列不銹鋼、硅
• 密封材質(zhì)

  氟橡膠 FKM
• 防護(hù)等級

  IP40
• 安裝方式

  任意方向安裝
• 固定孔

  M4 ↓ 5mm
• 重量

  0.38kg

• 電氣連接接口類型

  DB-9 male
• 模擬信號

  0 - 5 VDC，4-20mA（可定制）
• 輸入輸出阻抗

  輸入阻抗>10MΩ，輸出阻抗<600Ω
• 量程

  0-2，10，20，30，100，300，500sccm
  0-1，2，5，10，20，30slpm
• 通信速率

  9600（默認(rèn)），14400，19200，38400 bps（用戶可修改）
• 電源

  15-40 VDC，100 mA

• 標(biāo)況

  20℃，1 atm
• 氣體選擇

  可選，具體參考說明書氣體系數(shù)
• 軟件

  Aitoly分階流量軟件

產(chǎn)品選型