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            mfc300-熱式氣體質(zhì)量流量控制器
            • mfc300-熱式氣體質(zhì)量流量控制器

            貨物所在地:江蘇蘇州市

            地: 蘇州市吳江區(qū)柳胥路99號(hào) 半導(dǎo)

            更新時(shí)間:2025-02-11 11:54:39

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            愛拓利AITOLY是一家質(zhì)量流量計(jì)和控制器的專業(yè)研發(fā)制造商。愛拓利專注于微小流量測(cè)量與控制,擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的傳感器、高精度比例閥等,研發(fā)生產(chǎn)的質(zhì)量流量計(jì)及流量控制器,在工業(yè)和科學(xué)領(lǐng)域已穩(wěn)定運(yùn)行十?dāng)?shù)年。目前主營(yíng)產(chǎn)品有熱式氣體質(zhì)量流量控制器MFC300 和MFC330,皂膜流量標(biāo)準(zhǔn)裝置等。

            MFC300熱式氣體質(zhì)量流量控制器 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器,該系列采用 MEMS 流量傳感器,自帶溫度和壓力補(bǔ)償。具有響應(yīng)速度快,寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點(diǎn)。

            熱式氣體質(zhì)量流量控制器

            產(chǎn)品特點(diǎn)

            超快響應(yīng):5ms 測(cè)量響應(yīng),300ms控制響應(yīng)

            高重復(fù)性,寬量程比

            更小體積,安裝方便

            無(wú)需預(yù)熱,使用便捷

            分階流量控制軟件,靈活配置


            TECHNICAL PARAMETERS
            技術(shù)參數(shù)
            主要參數(shù)
            • 介質(zhì)要求
              潔凈干燥無(wú)腐蝕性氣體
            • 氣體種類
              Air,N2,02,Ar,CH4,CO2
            • 測(cè)量和控制范圍
              0.2%-100%F.S. (1:500)
            • 準(zhǔn)確度
              ±0.5%F.S.
            • 重復(fù)精度
              ±0.5%F.S.
            • 線性度
              ±0.2%F.S.
            • 分辨率
              0.1 sccm,0-1000 sccm;1 sccm,1-5 slpm (0.01 sccm,0-50 sccm可選)
            • 傳感器響應(yīng)時(shí)間
              5ms
            • 控制響應(yīng)時(shí)間
              300ms
            • 預(yù)熱時(shí)間
              ≤1s
            • 閥門
              常閉式



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