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貨物所在地:江蘇蘇州市
所在地: 蘇州市吳江區(qū)柳胥路99號 半導(dǎo)
更新時間:2025-02-14 09:48:31
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MFC330高精度氣體流量控制器 系列氣體質(zhì)量流量計/控制器,其結(jié)構(gòu)包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。
被測氣體進入后,先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值。測量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu),即使環(huán)境溫度變化或進出口氣壓波動,MFC330 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。
高精度氣體流量控制器(MFC)是一種用于精確測量和控制氣體流量的高精度儀器?。它基于熱式質(zhì)量流量傳感技術(shù),通過加熱元件和溫度傳感器測量氣體流經(jīng)時的熱量變化,從而推算氣體的質(zhì)量流量,并根據(jù)設(shè)定值進行調(diào)節(jié)?。
工作原理
MFC的工作原理基于熱式質(zhì)量流量傳感技術(shù)。它利用一個加熱元件和溫度傳感器,通過測量加熱元件散熱量的變化來推算氣體的質(zhì)量流量。當(dāng)氣體流過加熱元件時,會帶走一部分熱量,導(dǎo)致加熱元件的溫度下降。通過測量溫度下降的程度,MFC可以計算出氣體的質(zhì)量流量,并根據(jù)設(shè)定值對流量進行調(diào)整?
應(yīng)用領(lǐng)域
MFC因其高精度和穩(wěn)定性,在多個領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。在半導(dǎo)體制造中,MFC用于精確控制蝕刻、沉積等工藝中的氣體流量,確保產(chǎn)品質(zhì)量。在燃料電池領(lǐng)域,MFC用于調(diào)節(jié)氫氣和氧氣的供應(yīng),提高電池性能和安全性。此外,MFC還廣泛應(yīng)用于化工、醫(yī)療、環(huán)保等領(lǐng)域,為各種氣體流量控制需求提供解決方案?
特點
?高精度?:采用先進的傳感器技術(shù)和算法,確保流量控制精度達到行業(yè)水平?
?寬量程?:支持多種氣體種類和寬泛的流量范圍,滿足不同應(yīng)用場景的需求?
?快速響應(yīng)?:具備快速響應(yīng)能力,能迅速調(diào)整并穩(wěn)定至設(shè)定流量值?
?穩(wěn)定性好?:長時間運行下仍能保持流量穩(wěn)定,減少波動對實驗或生產(chǎn)的影響?
?易于操作?:配備直觀的操作界面和人性化的軟件設(shè)計,簡化操作流程?
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