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            MFM330-微小氣體質(zhì)量流量計
            • MFM330-微小氣體質(zhì)量流量計

            貨物所在地:江蘇蘇州市

            地: 蘇州市吳江區(qū)柳胥路99號 半導(dǎo)

            更新時間:2025-02-17 14:46:05

            瀏覽次數(shù):13

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            微小氣體質(zhì)量流量計MFM毛細(xì)管熱質(zhì)量流量計,直接測量較低流量范圍內(nèi)的清潔氣體和混合氣體的質(zhì)量流量。

            微小氣體質(zhì)量流量計MFM毛細(xì)管熱質(zhì)量流量計,直接測量較低流量范圍內(nèi)的清潔氣體和混合氣體的質(zhì)量流量。

            微小氣體質(zhì)量流量計

            產(chǎn)品特點

            精準(zhǔn)質(zhì)量流量測量/控制

            快速響應(yīng)、高重復(fù)性

            不受溫度和壓力的影響

            低壓損可選

            集成顯示器可選

            經(jīng)濟有效的解決方案

            主要參數(shù)

            介質(zhì)要求   潔凈干燥氣體

            氣體種類  98+氣體可選

            量程    10,20,50,100,300,500 sccm

            0-1,2,5,10,20,30,50,100,200,500slpm

            測量范圍  0.5%-1  00% F.S.

            準(zhǔn)確度  ±0.5% F.S.

            重復(fù)精度  ±0.2%F.S.

            線性度 ±0.2%F.S.

            分辨率 0.001 sccm(<10L/min),1sccm(10-50L/min)

            傳感器響應(yīng)時間<1s

            預(yù)熱時間 5 min(T95),30 分鐘最佳



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