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            MFC330-質量流量控制器
            • MFC330-質量流量控制器

            貨物所在地:江蘇蘇州市

            地: 蘇州市吳江區(qū)柳胥路99號 半導

            更新時間:2025-02-18 09:26:05

            瀏覽次數:21

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            質量流量控制器 MFC330 系列氣體質量流量計/控制器,其結構包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。
            被測氣體進入后,先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態(tài)響應快速調節(jié)氣體流量至設定值。測量與調節(jié)流量的閉環(huán)結構,即使環(huán)境溫度變化或進出口氣壓波動,MFC330 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。

            質量流量控制器MFC330 系列氣體質量流量計/控制器,其結構包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。

            被測氣體進入后,先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態(tài)響應快速調節(jié)氣體流量至設定值。測量與調節(jié)流量的閉環(huán)結構,即使環(huán)境溫度變化或進出口氣壓波動,MFC330 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。

            質量流量控制器

            產品特點

            精準質量流量測量/控制

            快速響應、高重復性

            不受溫度和壓力的影響

            工作壓差范圍大:0-1MPa

            低壓損可選

            全金屬比例閥可選

            集成顯示器可選

            經濟有效的解決方案

            主要參數

            介質要求   潔凈干燥氣體

            氣體種類   98+氣體可選

            量程   0-2,10,20,50,100,300,500 sccm

            0-1,2,5,10,20,30,50,100,200,500slpm

            測量范圍    0.5%F.S.(1:200)

            控制范圍   1%-100% FS.(1:100)

            準確度   ±1% F.S.

            重復精度  ±0.2%F.S.

            線性度  ±0.2%F.S.

            控制響應時間<3 秒

            預熱時間   5 min(T95),30 分鐘最佳

            閥門 常閉式



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