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價(jià)格區(qū)間	面議	應(yīng)用領(lǐng)域	醫(yī)療衛(wèi)生,化工,綜合

玉崎科學(xué)半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku高精度射線

可以使用 GISAXS CD 測(cè)量和 X 射線反射率 (XRR) 測(cè)量來測(cè)量薄膜厚度、密度和粗糙度。

兼容最大 300mm 晶圓

XTRAIA CD-3010G 規(guī)格

方法	掠入射小角 X 射線散射測(cè)量 (GISAXS) X 射線反射測(cè)量 (XRR)
目的	淺重復(fù)結(jié)構(gòu)的臨界尺寸測(cè)量
X射線源	封裝管，Cu Ka (8.04 KeV)
X射線光學(xué)系統(tǒng)	多層鏡光學(xué)系統(tǒng)
X射線探測(cè)器	二維探測(cè)器
主要部件	圖案化晶圓的測(cè)量周期性精細(xì) 3D 形狀線和空間、點(diǎn)或孔結(jié)構(gòu) 淺孔/柱、抗蝕劑、掩模圖案、存儲(chǔ)器件的單元區(qū)域、FinFET/GAA
特征	模式識(shí)別和全晶圓映射
選項(xiàng)	GEM300 軟件，E84/OHT 支持
機(jī)身尺寸	1865(W) × 3700(D) × 2115(H) mm, 2965 kg（含裝載口）
測(cè)量目標(biāo)	GISAXS：節(jié)距、CD、高度、SWA（側(cè)壁角）、RT（圓頂）、RB（圓底）、線寬分布、節(jié)距分布、高度分布 XRR：膜厚、密度和粗糙度差

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