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日本進口ULVAC愛發(fā)科多級羅茨干式真空泵

通過在高溫范圍內(nèi)均勻加熱泵體，
泵能夠?qū)VD、蝕刻等過程中產(chǎn)生的升華廢氣物質(zhì)以氣態(tài)排出。

特征

可以將在高溫區(qū)域的均熱CVD、蝕刻等中產(chǎn)生的升華廢氣以氣態(tài)排出。
UR系列可以達到比HR系列更高的溫度。
配備氦氣密閉電機，密封結(jié)構(gòu)，安全性高。
瞬時停電對策
我們采取了防止1000毫秒內(nèi)瞬時停電的措施。
優(yōu)異的耐腐蝕性
主要部件標準采用表面硬度高、耐腐蝕性優(yōu)異的特殊表面處理。當腐蝕性氣體排出時，減少泵內(nèi)部的腐蝕。
通訊功能
可以讀取有關(guān)泵運行狀態(tài)和警告/警報歷史記錄的數(shù)據(jù)。通過使用專用軟件并與計算機通信，可以進行集中監(jiān)控。

*1 對于 HR300、HR600 和 HR1200，請勿在吸入壓力 200Pa 或更高的情況下連續(xù)運行。