LISICO 樂(lè)思科 3D光學(xué)干涉輪廓儀

LISICO 樂(lè)思科 3D光學(xué)干涉輪廓儀的優(yōu)勢(shì)：

降低三維納米顯微技術(shù)產(chǎn)品化的成本

擴(kuò)大技術(shù)的測(cè)量范圍

擁有獨(dú)立自主的核心技術(shù)

統(tǒng)一的核心技術(shù)平臺(tái)、針對(duì)不同的產(chǎn)業(yè)，不同的輔助軟件、輔助硬件配置，系列檢測(cè)技術(shù)和系統(tǒng)

多年半導(dǎo)體檢測(cè)技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化經(jīng)驗(yàn)

所有的關(guān)鍵硬件來(lái)自美國(guó)、德國(guó)日本等

PI，納米移動(dòng)平臺(tái)及控制

Nikon，干涉物鏡

NI，信號(hào)控制板和Labview64控制軟件

TMC 隔震平臺(tái)

原理：

干涉測(cè)量技術(shù):快速靈活、超納米精度、測(cè)量精度不受物鏡倍率影響

應(yīng)用

1. 在太陽(yáng)能產(chǎn)業(yè)的應(yīng)用

激光開(kāi)孔形貌圖，薄膜太陽(yáng)能電池技術(shù)

2. 在集成電路產(chǎn)業(yè)的應(yīng)用

上海人和科學(xué)儀器有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“人和公司"）歷經(jīng)三十年的發(fā)展，目前服務(wù)過(guò)的客戶(hù)已經(jīng)超過(guò)20000家，眾多

企業(yè)皆已成為人和的忠實(shí)客戶(hù)。人和公司從最初儀器設(shè)備以及售后服務(wù)的提供商，到現(xiàn)在引進(jìn)*的自動(dòng)化、智能化、

擁有物聯(lián)網(wǎng)的在線(xiàn)儀器和生產(chǎn)設(shè)備，為客戶(hù)量身定制整體解決方案，通過(guò)專(zhuān)業(yè)、細(xì)致和全面的技術(shù)服務(wù)實(shí)現(xiàn)“為客戶(hù)

創(chuàng)造更多價(jià)值"的承諾。

人和公司始終聚焦行業(yè)痛點(diǎn)，在解決方案中不斷融入符合中國(guó)制造2025標(biāo)準(zhǔn)，具有自動(dòng)化、智能化、數(shù)字化、微型

化和模塊化帶物聯(lián)網(wǎng)的儀器設(shè)備。讓客戶(hù)通過(guò)這些儀器設(shè)備實(shí)時(shí)獲取生產(chǎn)過(guò)程中的信息反饋，進(jìn)行綜合分析，不斷

優(yōu)化生產(chǎn)工藝，從而實(shí)現(xiàn)在提高產(chǎn)品質(zhì)量的同時(shí)，降低生產(chǎn)成本。