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監(jiān)控半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)中離子污染的神器——ICS 6000離子色譜

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2020 · 半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)

2020年注定是不平凡的一年，不僅僅是新冠的肆虐，也因?yàn)閲鴥?nèi)外貿(mào)易爭端加劇，對某些中國企業(yè)是一大挑戰(zhàn)，同時也是一大機(jī)遇，將刺激我國對于芯片等半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的重視，同時賽默飛也將致力于幫助客戶解決當(dāng)中遇到的問題。

集成電路（Intergrated Circuit）又稱芯片，是一種微型電子器件，是把電路（包括半導(dǎo)體裝置、元件）小型化、并制造在半導(dǎo)體晶圓表面上形成的具有所需電路功能的微型結(jié)構(gòu)。

 在半導(dǎo)體行業(yè)中對離子的污染非常敏感

感

超過80%的制作工序都需要用到純水，對于不同級別的生產(chǎn)線而言，對純水的質(zhì)量要求也不盡相同，限度跨度從ppt—ppb。

ASTM D5127-13 Standard Guide for Ultra-Pure Water Used in the Electronics and Semiconductor Industries

同時芯片的生產(chǎn)過程中會使用到很多試劑，如硫酸、氨水等，而這些試劑揮發(fā)到空氣中會對芯片造成晶體缺陷、霧狀缺陷等，因此：

監(jiān)控環(huán)境空氣和超純水中離子的含量是非常必要的

你知道嗎

那么大家知道，空氣中與超純水中的雜質(zhì)離子含量這么低，通過什么手段實(shí)現(xiàn)檢測呢？賽默飛離子色譜ICS-6000選配AM模塊通過大體積濃縮進(jìn)樣，可輕松實(shí)現(xiàn)如上要求，*可以達(dá)到芯片生產(chǎn)過程中對環(huán)境與水的控制。

ICS 6000雙系統(tǒng)，直接進(jìn)樣分析，可同時在線檢測超純水中痕量（>50ppt）陰陽離子。

ICS 6000雙系統(tǒng)

直接進(jìn)樣流路圖

1配置AS-HV以后的ICS 6000

可實(shí)現(xiàn)大體積濃縮進(jìn)樣，從而進(jìn)一步提高靈敏度降低檢出限（<20ppt），通過大定量環(huán)進(jìn)樣品，小定量環(huán)進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)品，也大大降低了痕量分析的操作門檻。

ICS 6000配備AS-HV

 大小環(huán)進(jìn)樣流路圖

 2可選配IC Pure在線純水機(jī)

在線制備離子色譜分析過程中所需超純水，從而給淋洗液提供更純的水源。

 IC Pure在線純水機(jī)

3配備空氣采樣器

由真空泵以恒定流速抽取環(huán)境空氣，超純水吸收空氣中陰陽離子后上離子色譜檢測。根據(jù)抽取時間與流速從而計算抽取空氣體積，得出空氣中離子含量。

 空氣采樣器

那么實(shí)際效果如何呢？請看如下兩張譜圖：

 常規(guī)陰離子譜圖（1-10ppt）

常規(guī)陽離子譜圖（20ppt）

賽默飛離子色譜全流程解決方案

ICS 6000高壓離子色譜

ICS-6000高壓離子色譜是一款可實(shí)現(xiàn)陰陽離子同時分析的高壓離子色譜系統(tǒng)，高壓梯度提供了高分離度與高重復(fù)性。同時配有賽默飛*耐高壓Viper管線，*的力矩設(shè)計，無需輔助工具，手動自如實(shí)現(xiàn)裝卸，簡單方便。

耗材監(jiān)控識別功能

自動識別并追蹤 IC 耗材的安裝時間、使用情況和性能指標(biāo)。其可防止耗材安裝錯誤，安排預(yù)防性維護(hù)時間，管理耗材使用情況，可同時監(jiān)測多達(dá) 25 種不同耗材的 16 余項(xiàng)關(guān)鍵性能指標(biāo)。從而可以根據(jù)產(chǎn)品性能指標(biāo)和生產(chǎn)質(zhì)量保證數(shù)據(jù)驗(yàn)證耗材的性能。

淋洗液自動發(fā)生器

ICS-6000 配備RFIC-EG（淋洗液自動發(fā)生器），淋洗液發(fā)生灌以的濃度電解生成高純度氫氧化鉀（KOH）或甲磺酸（MSA）淋洗液。該設(shè)備的淋洗液與再生液僅要求使用高純度去離子水即可，從而實(shí)現(xiàn)零系統(tǒng)空白。同時RFIC-EG 模塊可控制等度或梯度條件，提供*的方法重現(xiàn)性和準(zhǔn)確度。

DC溫控

ICS-6000溫控系統(tǒng)分為上下兩部分且可單獨(dú)控溫，上部分控制檢測單元，下部分控制進(jìn)樣閥與色譜柱，溫度全部覆蓋，穩(wěn)定性更佳。

 ICS 6000 DC模塊

自 1975 年以來，我們一直致力于離子色譜（IC）技術(shù)的開發(fā)與創(chuàng)新，包括儀器、化學(xué)分離、抑制器和軟件。作為業(yè)界，我們通過分享已知信息努力為您的實(shí)驗(yàn)室提供支持，充當(dāng)值得信賴的顧問，并提供您所需要的服務(wù)和支持。我們所做的一切支持并認(rèn)可您和您的使命，確保世界更健康、更清潔、更安全。 

 Thermo Scientific™ Dionex™ ICS-6000 離子色譜儀

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