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 高純氣體色譜分析系統(tǒng)

（北京普瑞分析儀器有限公司 李景升）

   高純氣體分析系統(tǒng)適用于高純氣體和電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測(cè)，儀器配備*高靈敏的氦離子化（PDHID）檢測(cè)器；采用四閥五柱的多維色譜分析系統(tǒng)，進(jìn)樣閥采用帶吹掃保護(hù)氣路的六通或十通閥，連同*的氦氣純化器、無(wú)死體積取樣閥等部件一起組成一套完整的高純氣體分析整體解決方案。很好的完成了氣體中微量雜質(zhì)，特別是ppb級(jí)的雜質(zhì)的分析。為專(zhuān)業(yè)的高純氣體分析系統(tǒng).

儀器標(biāo)準(zhǔn)配置:

PDD D-4型 – 氦氣光化電離

GC-7800色譜儀器系統(tǒng)配置：
（1）GC-7800氦離子化氣相色譜儀

（2）氦離子化檢測(cè)器（PDHID）

（3）多維色譜分析系統(tǒng)

（4）多柱箱系統(tǒng)

（5）氦氣純化器

（6）標(biāo)準(zhǔn)氣體

（7）色譜柱

（8）高純氦（純度>99.999％）

分析范圍：

   可完成包括高純氮、高純氫、高純氧、高純氦、高純二氧化碳、高純氬、氪氣、氙氣、氖氣等高純氣體以及硅烷等電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測(cè)。我公司研究生產(chǎn)的GC-7800色譜儀配備VALCO公司的PDHID檢測(cè)器,對(duì)幾乎所有無(wú)機(jī)和有機(jī)化合物均有很高的響應(yīng),特別適合*氣體的分析,是*能夠檢測(cè)至ng/（ppb）級(jí)的色譜儀.

適用的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)：

1、高純氣標(biāo)準(zhǔn)

GB/T 7445-1995 《純氫、高純氫、超純氫》 GB/T 14599-2008《純氧、高純氧和超純氧》

GB/T 8979-2008《純氮、高純氮和超純氮》 GB/T 4842-2006《氬》

GB/T 4844.3-1995 《高純氦》 GB/T 17873-1999《純氖》

GB/T 5829-2006《氪氣》 GB/T 5828-2006《氙氣》

HG/T 3633-1999《純甲烷》 GB 10621-2006《食品添加劑 液體二氧化碳》

2、電子氣標(biāo)準(zhǔn)

GB/T 16942-2009《電子工業(yè)用氣體 氫》 GB/T 16943-2009《電子工業(yè)用氣體 氦》

GB/T 16944-2009《電子工業(yè)用氣體 氮》 GB/T 16945-2009《電子工業(yè)用氣體 氬》

GB/T 14604-2009《電子工業(yè)用氣體 氧》 GB/T 14600-2009《電子工業(yè)用氣體 氧化氬氮》

GB/T 14601-2009《電子工業(yè)用氣體 氨》 GB/T 14602-93《電子工業(yè)用氣體 氯化氫》

GB/T 14603-2009《電子工業(yè)用氣體 》GB/T 18994-2003《電子工業(yè)用氣體 高純氯》

GB/T 14851-93《電子工業(yè)用氣體 磷化氫》 GB/T 17874-1999《電子工業(yè)用氣體 三氯化硼》

GB/T 15909-2009《電子工業(yè)用氣體 硅烷》 GB/T 21287-2007《電子工業(yè)用氣體 三氟化氮》

GB/T18867-2002《電子工業(yè)用氣體 六氟化硫》