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hydac壓力傳感器使用原理
點擊次數(shù)：483 發(fā)布時間：2018-1-8
hydac壓力傳感器使用原理
賀德克hydac壓力傳感器前者電阻隨壓力的變化主要取決于電阻率的變化，后者電阻的變化則主要取決于幾何尺寸的變化（應(yīng)變），而且前者的靈敏度比后者大50～100倍。賀德克hydac壓力傳感器當(dāng)力作用于硅晶體時，晶體的晶格產(chǎn)生變形,使載流子從一個能谷向另一個能谷散射,引起載流子的遷移率發(fā)生變化，擾動了載流子縱向和橫向的平均量，從而使硅的電阻率發(fā)生變化。這種變化隨晶體的取向不同而異，因此硅的壓阻效應(yīng)與晶體的取向有關(guān)。硅的壓阻效應(yīng)不同于金屬應(yīng)變計，壓力傳感器采用集成工藝將電阻條集成在單晶硅膜片上,制成硅壓阻芯片,并將此芯片的周邊固定封裝于外殼之內(nèi)，引出電極引線。賀德克hydac壓力傳感器又稱為固態(tài)壓力傳感器，它不同于粘貼式應(yīng)變計需通過彈性敏感元件間接感受外力，而是直接通過硅膜片感受被測壓力的。硅膜片的一面是與被測壓力連通的高壓腔，另一面是與大氣連通的低壓腔。賀德克hydac壓力傳感器硅膜片一般設(shè)計成周邊固支的圓形，直徑與厚度比約為20～60
賀德克hydac壓力傳感器航天和航空工業(yè)中壓力是一個關(guān)鍵參數(shù)，對靜態(tài)和動態(tài)壓力，局部壓力和整個壓力場的測量都要求很高的精度。壓阻式傳感器是用于這方面的較理想的傳感器。例如,用于測量直升飛機(jī)機(jī)翼的氣流壓力分布，測試發(fā)動機(jī)進(jìn)氣口的動態(tài)畸變、葉柵的脈動壓力和機(jī)翼的抖動等。賀德克hydac壓力傳感器在飛機(jī)噴氣發(fā)動機(jī)中心壓力的測量中，使用專門設(shè)計的硅壓力傳感器,其工作溫度達(dá)500℃以上。在波音客機(jī)的大氣數(shù)據(jù)測量系統(tǒng)中采用了精度高達(dá)0.05％的配套硅壓力傳感器。在尺寸縮小的風(fēng)洞模型試驗中，壓阻式傳感器能密集安裝在風(fēng)洞進(jìn)口處和發(fā)動機(jī)進(jìn)氣管道模型中。賀德克hydac壓力傳感器被測的動態(tài)壓力作用在彈性敏感元件上，使它產(chǎn)生變形，在其變形的部位粘貼有電阻應(yīng)變片，電阻應(yīng)變片感受動態(tài)壓力的變化，賀德克hydac壓力傳感器按這種原理設(shè)計的傳感器稱為電阻應(yīng)變式壓力傳感器。
賀德克hydac壓力傳感器當(dāng)彈性敏感元件受到動態(tài)壓力作用后隨之產(chǎn)生相應(yīng)的變形ε,而形應(yīng)變值可由絲式應(yīng)變片或箔式應(yīng)變片測出，從而得到了ΔR的變化，也就得到了動態(tài)壓力的變化，基于這種應(yīng)變效應(yīng)的原理實現(xiàn)了動態(tài)壓力的測量。傳感器的特點是具有較高的強(qiáng)度和抗沖擊穩(wěn)定性，具有優(yōu)良的靜態(tài)特性、動態(tài)特性和較高的自震頻率，可達(dá)30khz以上，賀德克hydac壓力傳感器測量的上限壓力可達(dá)到9.6mpa。適于測量高頻脈動壓力，又加上強(qiáng)制水冷卻。也適于高溫下的動態(tài)壓力測量，如火箭發(fā)動機(jī)的壓力測量，內(nèi)燃機(jī)、壓氣機(jī)等的壓力測量。非線性較大。但小壓力測量中由于變形很小，非線性誤差可小于0.5％，賀德克hydac壓力傳感器同時又有較高的靈敏度，因此在沖擊波的測量中，國內(nèi)外都用過這種膜片式壓力傳感器。
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