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賀德克壓力傳感器HDA4745型工作原理
點(diǎn)擊次數(shù)：439 發(fā)布時(shí)間：2018-2-1
賀德克壓力傳感器HDA4745型工作原理
賀德克HYDAC壓力傳感器其應(yīng)力硅薄膜上部有一真空腔，使之成為一個(gè)典型的絕壓壓力傳感器。賀德克HYDAC壓力傳感器應(yīng)力硅薄膜與真空腔接觸這一面經(jīng)光刻生成的電阻應(yīng)變片電橋電路。當(dāng)外面的壓力經(jīng)引壓腔進(jìn)入傳感器應(yīng)力杯中，應(yīng)力硅薄膜會(huì)因受外力作用而微微向上鼓起，發(fā)生彈性變形，四個(gè)電阻應(yīng)變片因此而發(fā)生電阻變化，破壞原先的惠斯頓電橋電路平衡，賀德克HYDAC壓力傳感器電橋輸出與壓力成正比的電壓信號(hào)。賀德克HYDAC壓力傳感器是采用高精密半導(dǎo)體電阻應(yīng)變片組成惠斯頓電橋作為力電變換測(cè)量電路的，具有較高的測(cè)量精度、較低的功耗，極低的成本?；菟诡D電橋的壓阻式傳感器，如無壓力變化，其輸出為零，幾乎不耗電。壓力傳感器采用周邊固定的圓形的應(yīng)力杯硅薄膜內(nèi)壁，賀德克HYDAC壓力傳感器采用MEMS技術(shù)直接將四個(gè)高精密半導(dǎo)體應(yīng)變片刻制在其表面應(yīng)力zui大處，組成惠斯頓測(cè)量電橋，作為力電變換測(cè)量電路，將壓力這個(gè)物理量直接變換成電量，其測(cè)量精度能達(dá)0.01%～0.03%FS。
賀德克HYDAC壓力傳感器是基于金屬彈性體受力變形，由機(jī)械量彈性變形到電量轉(zhuǎn)換輸出，因此它不可能如MEMS壓力傳感器那樣做得像IC那么微小，成本也遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于MEMS壓力傳感器。相對(duì)于傳統(tǒng)的機(jī)械量傳感器，MEMS壓力傳感器的尺寸更小，zui大的不超過1cm，使性價(jià)比相對(duì)于傳統(tǒng)“機(jī)械”制造技術(shù)大幅度提高。賀德克HYDAC壓力傳感器的工作原理和他們的產(chǎn)品，其工作原理是將輸入信號(hào)（壓力）轉(zhuǎn)換為電阻變化，即通過惠斯登電橋架構(gòu)的壓阻式壓力傳感器感應(yīng)施加在薄隔膜上的壓力。壓力傳感器的一個(gè)重要參數(shù)是靈敏度，高分辨率的小型壓力傳感器使得氣壓計(jì)/高度計(jì)應(yīng)用得以在移動(dòng)終端中實(shí)現(xiàn)，賀德克HYDAC壓力傳感器比如在GPS的應(yīng)用中，高度計(jì)能夠準(zhǔn)確判斷出位置是在橋上還是橋下。
賀德克HYDAC壓力傳感器進(jìn)行高精度、低成本的大批量生產(chǎn)，從而為消費(fèi)電子和工業(yè)過程控制產(chǎn)品用低廉的成本大量使用MEMS傳感器打開方便之門，使壓力控制變得簡(jiǎn)單易用和智能化。傳統(tǒng)的機(jī)械量壓力傳感器是基于金屬彈性體受力變形，由機(jī)械量彈性變形到電量轉(zhuǎn)換輸出，因此它不可能如MEMS壓力傳感器那樣做得像IC那么微小，賀德克HYDAC壓力傳感器成本也遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于MEMS壓力傳感器。相對(duì)于傳統(tǒng)的機(jī)械量傳感器，MEMS壓力傳感器的尺寸更 小，zui大的不超過1cm，使性價(jià)比相對(duì)于傳統(tǒng)“機(jī)械”制造技術(shù)大幅度提高。壓力傳感器有硅壓阻式壓力傳感器和硅電容式壓力傳感器，兩者 都是在硅片上生成的微機(jī)械電子傳感器。賀德克HYDAC壓力傳感器是采用高精密半導(dǎo)體電阻應(yīng)變片組成惠斯頓電橋作為力電變換測(cè)量電路的，具有較高的測(cè)量精度、較低的功耗，極低的成本。
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