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只要更換傳感器單元就可以檢測對象氣體
用盒式傳感器單元無需進(jìn)行檢測器校正
大幅度削減成本和維護(hù)時間
產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
NEW COSMOS半導(dǎo)體用氣體XPS-7
產(chǎn)品特點(diǎn)
- 只要更換傳感器單元就可以檢測對象氣體
- 用盒式傳感器單元無需進(jìn)行檢測器校正
- 大幅度削減成本和維護(hù)時間
技術(shù)參數(shù)
型號 | XPS-7 |
對象氣體 | 半導(dǎo)體材料氣體 |
檢測原理 | 定電位電解式 |
取樣方式 | 自動吸引式 |
測量范圍 | 根據(jù)規(guī)格 |
分辨率 | 滿量程的百分之一 |
指示精度 | FS±10%以內(nèi) |
報警方式 | 報警燈閃爍，蜂鳴器斷續(xù)鳴叫 |
使用環(huán)境 | 0°C～+40°C |
電源 | 5號錳干電池4節(jié)或AC變壓器 |
使用時間 | 連續(xù)12小時以上（使用堿性干電池?zé)o報警、20℃時） |
外形尺寸 | W762×H150×D128㎜(除去突起物) |
重量 | 約1.3kg |
標(biāo)配附件 | 肩背皮帶、5號堿性干電池4節(jié)、過濾片2張 |
對象氣體一覽表 | ||||||||
型號 | 氣體 | F.S | 型號 | 氣體 | F.S | 型號 | 氣體 | F.S |
XDS-7NH | NH3 | 100ppm | XDS-7GH | GeH4 | 1ppm | XDS-7HS | H2S | 50ppm |
XDS-7SH | SiH4 | 25ppm | XDS-7CL | CL2 | 5ppm | XDS-7CO | CO | 250ppm |
XDS-7DC | SiH2CL2 | 25ppm | XDS-7CF | CLF3 | 1ppm | XDS-7DS | Si2H6 | 25ppm |
XDS-7AH | AsH3 | 250ppb | XDS-7HC | HCL | 25ppm | XDS-7F2 | F2 | 5ppm |
XDS-7PH | PH3 | 1ppm | XDS-7HF | HF | 10ppm | XDS-7OZ | O3 | 1ppm |
XDS-7BH | B2H6 | 500ppb | XDS-7HB | HBr | 10ppm | |||
XDS-7SE | H2Se | 250ppb | XDS-7NO | NO | 100ppm | |||
NEW COSMOS半導(dǎo)體用氣體XPS-7