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            MOS-500維修案例——slit卡住

            來源:華洋科儀   2017年08月30日 14:20  

            問題表現(xiàn):

             儀器初始化自檢的過程中報錯,提示“Impossible to initialize slit”,或初始化一直無法完成,如圖1。打開儀器主機外殼后可以觀察到,Slit部件在初始化自檢過程中運動受阻,發(fā)生卡滯,如圖2。圖 1 初始化一直無法完成 

            圖 2  Slit的位置

            原因分析:

            Slit為運動部件,機械部分隨著使用時間延長,潤滑油消耗,摩擦力過大造成卡滯。

            處理方法:

            在slit部件的兩個萬向節(jié)以及所有與轉(zhuǎn)動軸有接觸的部分加潤滑油,而后手動旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)動軸使slit部件充分潤滑。潤滑油可以用移液槍(或滴管)吸取,點在對應(yīng)位置少量。如圖3、圖4。

             圖3 Slit 卡滯處理方法(1)

            圖4 Slit 卡滯處理方法(2)

             

            注:

            1. Slit卡滯的問題通常都可以通過添加潤滑油解決,用戶可以在Slit卡滯現(xiàn)象消除后設(shè)置1nm、5nm等不同的slit大小,使Slit部件運轉(zhuǎn)順滑。

            2.涂潤滑油時避免污染透鏡鏡片。

            3. 用戶可以選擇固定半年/一年時間添加一次潤滑油。

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