光學(xué)輪廓儀通過(guò)光學(xué)原理實(shí)現(xiàn)對(duì)被測(cè)工件的表面輪廓尺寸和形貌的非接觸測(cè)量,測(cè)量精度達(dá)到納米級(jí)。 可應(yīng)用的范圍包括微小工件的臺(tái)階高差及凹槽深度的測(cè)量和表面粗糙度的測(cè)量。光學(xué)輪廓儀表面微觀形貌測(cè)量,對(duì)表面的平面度、粗糙度、波紋度、共面性、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。光學(xué)輪廓儀提供了強(qiáng)大的非接觸式光學(xué)表面分析的多功能性。它可以容易和快速地測(cè)量各種表面類(lèi)型,包括光滑、粗糙、平坦、傾斜和階梯式的表面。所有的測(cè)量都是無(wú)損、快速、無(wú)需樣品制備的。
光學(xué)輪廓儀非常適合對(duì)表面幾何形狀和表面紋理分析,以標(biāo)準(zhǔn)方案或定制性方案對(duì)2D輪廓或三維輪廓表面形貌和表面紋理,微米和納米形狀,圓盤(pán),圓度,球度,臺(tái)階高度,距離,面積,角度和體積進(jìn)行多范圍測(cè)量。光學(xué)輪廓儀采用白光軸向色差原理(性能優(yōu)于白光干涉輪廓儀與激光干涉輪廓儀)對(duì)樣品表面進(jìn)行快速、重復(fù)性高、高分辨率的三維測(cè)量,測(cè)量范圍可從納米級(jí)粗糙度到毫米級(jí)的表面形貌,臺(tái)階高度,給MEMS、半導(dǎo)體材料、太陽(yáng)能電池、醫(yī)療工程、制藥、生物材料,光學(xué)元件、陶瓷和材料的研發(fā)和生產(chǎn)提供了一個(gè)的、價(jià)格合理的計(jì)量方案。
光學(xué)輪廓儀受到人們歡迎的原因有哪些呢?
一、技術(shù)檢測(cè)穩(wěn)定且清晰
只要使用過(guò)光學(xué)輪廓儀的朋友都知道這個(gè)儀器的檢測(cè)技術(shù)是比較穩(wěn)定的并且檢測(cè)出現(xiàn)的結(jié)果也比較的清晰,而目前的設(shè)備也能滿足人們較高要求的檢測(cè),不僅是光學(xué)的長(zhǎng)度還是具有各種參數(shù)的檢驗(yàn)。廠家對(duì)設(shè)備技術(shù)的投入足夠用心,也可以在很大程度上完善設(shè)備的檢測(cè)。再者光學(xué)輪廓儀口碑好也正是因?yàn)樵O(shè)備技術(shù)的穩(wěn)定性。
二、具有高質(zhì)量且可靠的結(jié)果
當(dāng)然使用光學(xué)輪廓儀進(jìn)行檢測(cè)也可以得到非??煽康慕Y(jié)果。因?yàn)樵O(shè)備可以根據(jù)一些光學(xué)的原理以及自動(dòng)化檢測(cè)技術(shù)對(duì)需要分析檢測(cè)的數(shù)據(jù)心有效的篩選并處理,這樣對(duì)于檢測(cè)的解決也會(huì)更加的,從而使得設(shè)備在檢測(cè)上的結(jié)果具有很大的可信度。也讓人們?cè)谶x擇產(chǎn)品時(shí)可以放心。
總而言之正是因?yàn)楣鈱W(xué)輪廓儀的基本特點(diǎn)有這些才讓它受到如此多使用者的喜愛(ài)。設(shè)備的檢測(cè)技術(shù)穩(wěn)定并且檢測(cè)的結(jié)果也清晰可靠。與此同時(shí)廠家對(duì)儀器 升級(jí)操作卻從未停止,在相關(guān)技術(shù)的有效完善之外,人們對(duì)光學(xué)輪廓儀的研究也更加深入,所以設(shè)備的功能性以及穩(wěn)定性也更加具有使用價(jià)值。
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