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            日本三豐Surftest表面粗糙度測量儀小知識

            來源:篤摯儀器(上海)有限公司   2020年05月11日 13:25  

            JIS B 0601:2013 (ISO 4287:1997) 產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范(GPS)-表面形狀:輪廓法–術(shù)語、定義及表面紋理參數(shù)
            JIS B 0632:2001 (ISO 11526:1996) 產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范(GPS)-表面形狀:輪廓法–位相補償濾波器的特征
            JIS B 0633:2001 (ISO 4288:1996) 產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范(GPS)-表面形狀:輪廓法–表面紋理的評價的規(guī)則和程序
            JIS B 0651:2001 (ISO 3274:1996) 產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范(GPS)-表面形狀:輪廓法–接觸(測針式)測量儀的標(biāo)稱特性。

            接觸式表面粗糙度測量儀的特征 JIS B 0651 : 2001 (ISO 3274 : 1996)

            三豐粗糙度儀測量原理示意圖:

            測針形狀
            理想的測針形狀是圓錐型,為球形
            半徑:rtip = 2 μm, 5 μm, 10 μm
            圓錐角度:60º, 90º
            在理想表面粗糙度測量中,除特別規(guī)定以外,每個圓
            錐角的角度都是 60º

            靜態(tài)測量力
            測針平均位置的測力:0.75mN
            測力的標(biāo)稱變化率:0N/m
            標(biāo)準(zhǔn)特性值:測針平均值的靜態(tài)測力

            測針曲率
            標(biāo)稱半徑μm
            測針在平均位置
            的靜態(tài)測量力
            mN
            靜態(tài)測量力變化的
            公差率
            mN /μm
            20.750.035
            50.75 (4.0)注10.2
            10

            注1 對于特殊結(jié)構(gòu)探測器 (包括一個可更換測頭),在平均位置靜態(tài)測量力的大值為 4.0mN。

            截止波長值與測針半徑之間的關(guān)系
            如下表所列,測針半徑rtip 的標(biāo)準(zhǔn)值與對應(yīng)于截止波長
            標(biāo)準(zhǔn)值的粗糙度截止波長比率之間的關(guān)系

            λc
            (mm)
            λs
            (μm)
            λc/λs大rtip
            (μm)
            大取樣間隔
            (μm)
            0.082.53020.5
            0.252.510020.5
            0.82.53002注10.5
            2.583005注21.5
            82530010注25

            注1: 對于Ra>0.5μm或Rz>3μm的表面,通??梢允褂胷tip=5μm的測針,
            在測量結(jié)果中沒有明顯差別。
            注2: 當(dāng)截止波長λs為2.5μm或8μm時,與推薦測針針尖半徑的測針(觸針)機械濾波所產(chǎn)生的衰減特性將位于定義的傳輸帶之外。因此,測針的半徑或者形狀上的微小誤差不會影響到測量中參數(shù)的計算。如果需要特殊的截止波長比率,須。

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