上海昊量白光干涉儀優(yōu)勢(shì)及應(yīng)用領(lǐng)域
白光干涉儀優(yōu)勢(shì):
價(jià)格優(yōu)勢(shì):市場(chǎng)上性價(jià)比的白光干涉儀。
簡(jiǎn)單易用:只需將樣品放置于樣品臺(tái)上,即可直接進(jìn)行測(cè)量;
可以測(cè)量非接觸式非平坦樣品:由于光學(xué)輪廓測(cè)量法是一種非接觸式技術(shù),可以輕松測(cè)量彎曲和其他非平面表面。還輕松地測(cè)量曲面的表面光潔度,紋理和粗糙度。除此之外,作為一種非接觸式方法光學(xué)輪廓儀不會(huì)像探針式輪廓儀那樣損壞柔軟的薄膜。
無(wú)需更換耗材:只需要一個(gè)LED光源,無(wú)需其他配件更換;
可視化3D功能:Xper WLI輪廓儀具有強(qiáng)大的處理軟件,軟件除包括表面粗糙度,形狀和臺(tái)階高度的測(cè)量外,還可以任意角度移動(dòng)樣品量測(cè)三維圖形,多角度分析樣品圖像。
白光干涉儀應(yīng)用領(lǐng)域:
納米尺度的厚度和輪廓檢測(cè)
WLI和PSI模式轉(zhuǎn)換
工業(yè)應(yīng)用:樣品和輪廓檢測(cè)
樣品類型:半導(dǎo)體晶圓,納米器件,生物材料,MEMS:微電子機(jī)械系統(tǒng),lED發(fā)光二極管
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