HONDA本多石英振動(dòng)體超聲波清洗機(jī)使用與用途
HONDA本多石英振動(dòng)體超聲波清洗機(jī)使用與用途
W-357BM-1200
[超聲波清洗機(jī)[用于半導(dǎo)體行業(yè)]]
特征
- 通過(guò)數(shù)字控制可以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的振蕩。
- 通過(guò)各種接口,可以根據(jù)清潔設(shè)備進(jìn)行控制。
- 超聲波輸出可以1W為增量進(jìn)行調(diào)節(jié)。
用途:
- 磁頭清潔
- 硅片清洗
- 藍(lán)寶石晶圓清洗
- 處理半導(dǎo)體器件后進(jìn)行清潔
- 硬盤清潔
規(guī)范
振蕩器
模型 | W-357BM-1200 | |
---|---|---|
振蕩方式 | 單頻振蕩 | |
額定輸出 | 1200瓦 | |
標(biāo)稱振蕩頻率 | 1兆赫 | |
電源輸入 | AC200V?240V 單相50 / 60Hz的2400VA | |
顯示 | VFD(熒光顯像管)16個(gè)字符x 2行 | |
國(guó)米 的臉 | 模擬量輸出 | 4-20mA電流輸出 |
接點(diǎn)輸出 | 3點(diǎn)報(bào)警輸出,振動(dòng)檢測(cè)輸出,電源接通輸出 | |
外置驅(qū)動(dòng)器輸入 | 2點(diǎn)傳感器輸入,遠(yuǎn)程輸入 | |
RS485通訊 | MODBUS(RTU)協(xié)議 | |
外形尺寸 | 360(W)x 360(D)x 143(H)毫米 (不包括突起,包括橡膠底腳) | |
大眾 | 7公斤 |
●可變輸出范圍:200W至1200W
●電源線長(zhǎng)度:3m
需要高頻設(shè)備許可申請(qǐng)通知
換能器單元
根據(jù)要求,我們還可以制造規(guī)格為2.4 kW和3.6 kW的定制振蕩器單元,以及6英寸,8英寸和12英寸兼容單元。 |
F型|
8寸晶片用振動(dòng)板型
模型 | W-357BM-1200F |
---|---|
振蕩器型號(hào) | W-357BM-1200 |
大允許輸入 | 1200瓦 |
標(biāo)稱驅(qū)動(dòng)頻率 | 1兆赫 |
有效輻射面W x Dmm | 272x154 |
外形尺寸 WxDxHmm (不包括 接線和管道) | 355x245x68 |
材料 | 板:SUS316L表面電解拋光 |
大眾 | 7公斤 |
●工作液溫度范圍:5到85℃
●傳感器:特殊PZT
●傳感器線長(zhǎng):5m x 2
S型|
6英寸晶圓的儲(chǔ)罐類型x 2
模型 | W-357BM-1200S | |
---|---|---|
振蕩器型號(hào) | W-357BM-1200 | |
大允許輸入 | 1200瓦 | |
標(biāo)稱驅(qū)動(dòng)頻率 | 1兆赫 | |
有效輻射面W x Dmm | 135x160 2個(gè)地方 | |
尺寸 WxDxHmm (不包括突起) | 外型 | 496x336x372 (包括橡膠腳) |
在坦克 | 442x276x252 | |
材料 | 儲(chǔ)罐:SUS316包裝:拜頓 | |
排水閥 | 1/2英寸 | |
大眾 | 18公斤 |
●工作液溫度范圍:5到85℃
●傳感器:特殊PZT
●傳感器線長(zhǎng):5m x 2
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