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關(guān)于微振動的評估和測量，你了解多少？︳振動準(zhǔn)則（VC）曲線：振動等級評估標(biāo)準(zhǔn)
如何評價實驗室是否達(dá)到實驗/應(yīng)用的微震需求？
如何判定實驗設(shè)備需要/不需要進(jìn)行隔振處理？
今天我們來分享一種評判環(huán)境振動程度的評估準(zhǔn)則：
Vibration Criterion (VC) Curves——振動準(zhǔn)則(VC)曲線。
VC(振動準(zhǔn)則)曲線是在20世紀(jì)80年代早期由Eric Ungar和Colin Gordon提出的。 它們初是為了半導(dǎo)體，醫(yī)療和生物制藥行業(yè)的振動敏感設(shè)備的通用振動標(biāo)準(zhǔn)而開發(fā)的，經(jīng)過這么多年的擴(kuò)展和參數(shù)準(zhǔn)確，目前已在多種技術(shù)應(yīng)用中得到廣泛使用和借鑒，在設(shè)計一些精密使用的高振動靈敏度設(shè)備時，VC曲線標(biāo)準(zhǔn)已在世界范圍內(nèi)被廣泛接受并引用。
該標(biāo)準(zhǔn)采用一組1/3倍頻帶速度譜（one-third octave band velocity spectra），以及標(biāo)準(zhǔn)組織（ISO）關(guān)于振動對建筑物中人的影響判斷準(zhǔn)則，適用于在垂直和兩個水平方向上測量的振動。
其中，NIST-A標(biāo)準(zhǔn)是為計量學(xué)而開發(fā)的，近年來在納米技術(shù)界也廣受歡迎。但是，NIST-A準(zhǔn)則在某些低頻振動較大的地點很難得到滿足。
目前一般認(rèn)為： VC-M是可測得的低值，現(xiàn)今還無法在此標(biāo)準(zhǔn)以下進(jìn)行準(zhǔn)確的振動測量，因為現(xiàn)今敏感的傳感器也因為傳感器的內(nèi)部噪聲而降低了靈敏度，無法達(dá)到VC-M的測量基準(zhǔn)。
振動現(xiàn)場調(diào)查可以確認(rèn)很多有關(guān)如何在實驗室中振動隔離設(shè)備的信息。
曲線標(biāo)準(zhǔn) | 振幅 | Detail Size2 | 用途描述 |
Workshop (ISO) | 800( 32,000) | N/A | 振感明顯。 適用于車間或非振動敏感區(qū)域。 |
Office (ISO) | 400 (16,000) | N/A | 可察覺的振動。適用于辦公室及非敏感地區(qū)。 |
Residential Day (ISO) | 200 (8000) | 75 | 幾乎察覺不到的振動。大多數(shù)情況下適合睡眠區(qū)域。通常適用于計算機(jī)設(shè)備、醫(yī)院康復(fù)室、半導(dǎo)體探針測試設(shè)備和小于40倍的顯微鏡。 |
Op. Theatre (ISO) | 100 (4000) | 25 | 不易于察覺的振動。適用于外科設(shè)備，100倍的顯微鏡或其他低靈敏度的設(shè)備。 |
VC-A | 50 (2000) | 8 | 通常適用于400倍的光學(xué)顯微鏡、微天平、光學(xué)天平、接近和投影對準(zhǔn)器等。 |
VC-B | 25 (1000) | 3 | 適用于線寬為3μm的檢查和光刻（包括步進(jìn)機(jī)）。 |
VC-C | 12.5 (500) | 1 - 3 | 適用于1000倍光學(xué)顯微鏡，1μm的檢查/光刻檢查設(shè)備（包括中靈敏度電子顯微鏡），TFT-LCD步進(jìn)/掃描器。 |
VC-D | 6.25 (250) | 0.1 - 0.3 | 適用于要求苛刻的設(shè)備，包括電子顯微鏡（TEM和SEM）和電子束系統(tǒng)。 |
VC-E | 3.12 (125) | < 0.1 | 一個難以達(dá)到的標(biāo)準(zhǔn)。適用于高靈敏度系統(tǒng)，包括長徑、激光、小目標(biāo)系統(tǒng)、納米尺度的電子束光刻系統(tǒng)，以及其他對動態(tài)穩(wěn)定性要求*的系統(tǒng)。 |
VC-F | 1.56 (62.5) | N/A | 適用于極其安靜的研究空間； 通常在大多數(shù)情況下都很難實現(xiàn)，尤其是在潔凈室中。 不建議將其用作設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)，僅用于評估。 |
VC-G | .78 (31.3) | N/A | 適用于極其安靜的研究空間； 通常在大多數(shù)情況下都很難實現(xiàn)，尤其是在潔凈室中。 不建議將其用作設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)，僅用于評估。 |
NIST-A |
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| 在高于20 Hz的頻率下，NIST-A標(biāo)準(zhǔn)與VC-E曲線相同，但低于此頻率時，則保持恒定位移。 1至20 Hz之間為0.025μm或25 nm; 20至100 Hz之間為3.1μm/ s（125μin / s） |
NIST-A1 |
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| NIST-A1標(biāo)準(zhǔn)要求小于4 Hz的頻率的RMS速度為3μm/ sec（118μin。/ sec），而對于4 Hz <f <100 Hz的頻率則為0.75μm/ sec（29.5μin。/ sec）速度 |
VC-H | .39 (15.63) | N/A | 適用于極其安靜的研究空間； 通常在大多數(shù)情況下都很難實現(xiàn)，尤其是在潔凈室中。 不建議將其用作設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)，僅用于評估。 |
VC-I | .195 (7.81) | N/A | 適用于極其安靜的研究空間； 通常在大多數(shù)情況下都很難實現(xiàn)，尤其是在潔凈室中。 不建議將其用作設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)，僅用于評估。 |
VC-J | .097 (3.9) | N/A | 適用于極其安靜的研究空間； 通常在大多數(shù)情況下都很難實現(xiàn)，尤其是在潔凈室中。 不建議將其用作設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)，僅用于評估。 |
VC-K | .048 (1.95) | N/A | 適用于極其安靜的研究空間； 通常在大多數(shù)情況下都很難實現(xiàn)，尤其是在潔凈室中。 不建議將其用作設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)，僅用于評估。 |
VC-L | .024 (0.98) | N/A | 適用于極其安靜的研究空間； 通常在大多數(shù)情況下都很難實現(xiàn)，尤其是在潔凈室中。 不建議將其用作設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)，僅用于評估。 |
VC-M | .012 (0.49) | N/A | 適用于極其安靜的研究空間； 通常在大多數(shù)情況下都很難實現(xiàn)，尤其是在潔凈室中。 不建議將其用作設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)，僅用于評估。 |
1在8至80 Hz（VC-A和VC-B）或1至80 Hz（VC-C至VC-G）頻率范圍的三分之一倍頻程中測得 |
2 detail size是指微電子制造情況下的線寬，醫(yī)學(xué)和制藥研究情況下的粒子（單元）尺寸等。與探針技術(shù)，AFM和納米技術(shù)相關(guān)的成像無關(guān)。 |
森泉光電擁有全套的微振動測量設(shè)備，可提供一站式、高精度、多對比、準(zhǔn)確位置的現(xiàn)場振動環(huán)境測試，讓客戶多面的了解實驗室的現(xiàn)場振動環(huán)境，并提供針對性的微振動抑制方案。
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