長平晶的結(jié)構(gòu)用途及使用注意事項

核心摘要：簡述長平晶的結(jié)構(gòu)和用途。長平晶是以等傾干涉法檢定研磨面平尺平面度的標(biāo)準(zhǔn)量具。長平晶按尺寸分為210mm和310mm兩種。制造長平品

簡述長平晶的結(jié)構(gòu)和用途。
    長平晶是以等傾干涉法檢定研磨面平尺平面度的標(biāo)準(zhǔn)量具。長平晶按尺寸分為210mm和310mm兩種。制造長平品的材料為K9光學(xué)玻璃。
    長平晶的非工作面上有表示受檢點位置的十字刻線，對于210mm長平晶有7個十字刻線，刻線間隔為30mm，兩端十字刻線距端面為15mm;對于310mm長平晶兩端十字刻線距端面為20mm，刻線間隔為30mm，共有9個間隔，另外在對稱中點位置上增加一個十字刻線，共有11個十字刻線。

長平晶的外形圖如圖7-30所示。外形尺寸見表7-10。
 

    使用長平晶時，考慮到其自重變形對測量的影響，且便于修正，應(yīng)使長平晶支承在固定的位置上，并使工作面向下。一般常在工作面兩端研合兩塊尺寸差小于0.1μm的0級量塊;或用一鋼球支承架，如圖7-31所示，其支承鋼球的尺寸差應(yīng)在0.1μm以內(nèi)。長平晶連同其支承一起放在被測表面上，用等傾干涉法進(jìn)行平面度測量。

    長平晶工作面平面度見表7-11。
 

    長平晶主要用于研磨面平尺平面度的檢定。

長平晶使用時注意什么問題?
    長平晶使用時應(yīng)注意其支承與放置問題。
    由于長平晶屬細(xì)長類形狀的量具，其自重變形的狀態(tài)和大小隨支承形式及支承位置的不同而變化，一般長平晶不能像平面平品那樣直接置于被測表面上檢測。檢測時必須在規(guī)定位置上放上支承塊，一般可在工作面兩端研合兩塊尺寸差小于0.1μm的量塊，或用鋼球支承架。將長平晶工作面向下安放在被檢表面上，用等傾干涉法檢測。
    由于長平晶自重的影響，因此長平晶工作時其工作面的平面度應(yīng)包括長平晶本身自重變形量。長平晶各點的變形修正量按下式計算:
                      Fi=Δyi-△yo
式中Fi—長平晶在i點的自重變形修正量，μm;
    △yi—長平晶在i點的自重變形量，μm;
    △yo—長平晶在。點的自重變形量，μm。