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隔膜真空計是一種高精度真空測量儀器，專為惡劣的制造環(huán)境而設(shè)計。經(jīng)過驗證的溫控，耐腐蝕，超純陶瓷傳感器可在多年內(nèi)提供的跨度穩(wěn)定性，并具有*的零穩(wěn)定性。附帶*傳感器屏蔽，可保護儀表免受不良過程副產(chǎn)品的影響。*的電子元件為所有應(yīng)用和可選的現(xiàn)場總線接口提供廣泛的可配置信號調(diào)理。創(chuàng)新的加熱概念使觸摸表面更加涼爽，節(jié)省了寶貴的工具空間。是同類產(chǎn)品中小的真空測量儀器。
隔膜真空計特點：
緊湊，節(jié)省寶貴的工具空間
易于集成，各種滿量程和法蘭，標準有兩個設(shè)定點
輕松一鍵式或遠程信號零點命令，零點偏移可調(diào)
診斷端口，用于快速維護和維護
兩年保修，更長的使用壽命，*的加熱概念和儀表保護
即使在惡劣的等離子應(yīng)用中，由于出色的信號穩(wěn)定性和可重復(fù)性，也無需長期重新校準
合規(guī)性和標準：CE，EN，UL，SEMI，RoHS
典型應(yīng)用
CVD，蝕刻，PVD和其他半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝
隔膜真空計是利用隔膜在氣體分子作用下發(fā)生變形而測量壓強的真空計，其基本原理所示。電容式隔膜真空計內(nèi)部有兩個空間，隔膜右側(cè)連接真空，左側(cè)的參照空間可以保持在大氣壓或其他一定的真空度。如果p2 <p1，則隔膜就向右側(cè)變形;反之，就向左側(cè)變形。隔膜和電極之間處于絕緣狀態(tài)，兩者之間的距p1 和p2之間的壓強差很小時，隔膜的變形也很小，要測量真空度，需要隔膜更薄?？墒?，如果兩側(cè)壓強差很大，則隔膜可能發(fā)生永玖變形甚至破損。通常情況下，為了防止隔膜過度變形，在電極和隔膜之間施加直流電壓，通過靜電引力使隔膜不發(fā)生變形。通過測量直流電壓值，即可知壓強，這種真空計被稱為單電容隔膜真空計。在隔膜兩側(cè)分別設(shè)置電極而實現(xiàn)的差動式雙電容隔膜真空計，進一步提高了測量精度和范圍。隔膜材料通常使用厚度為幾十微米的因科內(nèi)爾鉻鎳鐵合金。為避免腐蝕氣體的腐蝕，也有使用陶瓷隔膜的產(chǎn)品。電容式隔膜真空計測量的真空度與氣體成分無關(guān)，反應(yīng)快、重復(fù)性高，非常適合于氧氣及油蒸氣等特殊環(huán)境的真空測量。離隨p2 的變化而改變，從而引起其間的電容變化。反過來，通過測量隔膜和電極之間的電容，就可知隔膜的變形量，繼而推算出壓強。
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