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            錦正茂高低溫真空磁場(chǎng)探針臺(tái)技術(shù)參數(shù)

            來(lái)源:北京錦正茂科技有限公司   2021年03月19日 10:40  
            高低溫真空磁場(chǎng)探針臺(tái)
            產(chǎn)品概述:

            錦正茂高低溫真空磁場(chǎng)探針臺(tái)是具備提供高低溫、真空以及磁場(chǎng)環(huán)境的高精度實(shí)驗(yàn)臺(tái),它的諸多設(shè)計(jì)都是專 的。因此,高低溫磁場(chǎng)探針臺(tái)的配置主要是根據(jù)用戶的需求進(jìn)行選配及設(shè)計(jì)。例如,要求的磁場(chǎng)值,均勻區(qū)大小、均勻度大小、樣品臺(tái)的尺寸等,均于磁力線在一定區(qū)域內(nèi)產(chǎn)生的磁通密度相關(guān)聯(lián);位移臺(tái)還可與磁流體密封搭配,實(shí)現(xiàn)水平方向二維移動(dòng)和樣品臺(tái)360度轉(zhuǎn)動(dòng);除此之外,該探針臺(tái)和我司自主研發(fā)的高精度雙極性恒流電源搭配使用戶,可以磁場(chǎng)的高穩(wěn)定性。因此,該類型的探針臺(tái)主要依據(jù)客戶的使用情況進(jìn)行設(shè)計(jì)優(yōu)化。

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            錦正茂高低溫真空磁場(chǎng)探針臺(tái)探針臺(tái)配備4個(gè)(可選6個(gè)或8個(gè))擁有高精度位移的探針臂,同時(shí)配有高精度電子顯微鏡,便于微小樣品的觀察操作。探針可通過直流或者低頻交流信號(hào),用來(lái)測(cè)試芯片、晶圓片、封裝器件等,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)、MEMS 、超導(dǎo)、電子學(xué)、鐵電子學(xué)、物理學(xué)、材料學(xué)和生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。

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            應(yīng)用范圍:

            磁特性測(cè)試、微波特性測(cè)試、直流、RF特性測(cè)試,微電子機(jī)械系統(tǒng),超導(dǎo)電性測(cè)試,納米電路的光電屬性,量子點(diǎn)和線,高低溫真空環(huán)境下的芯片測(cè)試,材料測(cè)試,霍爾測(cè)試,電磁輸運(yùn)特性等。

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            可選附件:

            t 各類DC探針、高頻探針、主動(dòng)式探針、電纜線

            t CCDC-MOS視頻成像裝置

            t Chuck運(yùn)動(dòng)裝置

            t 電磁鐵系統(tǒng)/超導(dǎo)磁鐵系統(tǒng)

            t 1Mpa正壓系統(tǒng)升級(jí)

            t 超高溫升級(jí)選件

            t 超高真空升級(jí)選件

            t 各類探針夾具

            t 屏蔽箱

            t 防振桌

            t 轉(zhuǎn)接頭

            t 靜音真空泵

            技術(shù)指標(biāo):

            高低溫真空磁場(chǎng)探針臺(tái)

            型號(hào)

            T8-EM4

            T8-EM5

            T8-EM7


            真空度

            真空上等高達(dá)10-8Pa

            腔體材質(zhì)

            無(wú)磁不銹鋼或者鋁合金

            磁場(chǎng)范圍

            2000Gs @50mm

            5000Gs@50mm

            1T@50mm


            磁場(chǎng)方向

            水平(可按用戶要求設(shè)計(jì)成豎直方向的)

            配套電源

            雙極性電源±50A

            雙極性電源±70A

            雙極性電源±90A


            電源穩(wěn)定性

            50ppm(可選10ppm

            制冷方式

            液氦/液氮制冷/閉循環(huán)制冷機(jī)

            溫度范圍

            5K-325K可選500K

            控溫分辨率

            0.001K控溫儀相關(guān)

            溫度穩(wěn)定性

            優(yōu)于0.1K依賴于控溫儀

            溫度傳感器

            硅二極管/PT100/CernoxTM

            傳感器數(shù)量

            樣品臺(tái)、防輻射屏、探針臂各一個(gè)

            樣品臺(tái)尺寸(max

            Φ50mm,平整度≤7μm

            樣品臺(tái)固定方式

            真空硅脂/彈簧壓片

            樣品臺(tái)材質(zhì)

            鍍金無(wú)氧銅

            顯微鏡行程

            XY平面2*2inch,精度1μmZ軸行程≥50.8mm

            放大倍數(shù)

            16~100X/20~4000X

            真空腔觀察窗尺寸

            1inch

            1.5inch

            2inch


            窗口材料

            熔融石英(可選K9、氟化鈣等)

            探針臂數(shù)量

            24、68可選

            探針臂行程

            (X-Y-Z)25mm-25mm-12mm可更換

            位移精度

            10μm /2μm/1μm/0.7μm可選

            接口形式

            普通真空接頭/三同軸接頭/BNC/SMA

            探針直徑

            0.51mm

            針尖直徑

            10μm/5μm/1μm可選

            探針材料

            /GGB

            供電電壓

            AC220V 50Hz/60Hz

            AC380V 50Hz/60Hz



            注:北京錦正茂科技有限公司接受任何形式的定制,精度高,周期短。




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