SJ6000激光干涉儀平行度測量是在直線度測量的基礎上而擴展的應用。
平行度測量原理
平行度測量由平行軸的兩組直線度測量組成,參見下面平行度測量光路原理構件圖,其中直線度反射鏡作為共同的參考基準,在測量過程中保持原位,且不進行調整。由第1運動軸的斜度θ1中減去第2運動軸的斜度θ2,即可得出平行度=θ1-θ2。
平行度測量配置
平行度測量配置主要由SJ6000主機、短直線度鏡組(或長直線度鏡組)、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構成。Z軸的平行度測量需增添可調轉向鏡。
平行度測量應用
免責聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來源:化工儀器網(wǎng)”的所有作品,均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權或有權使用的作品,未經(jīng)本網(wǎng)授權不得轉載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權使用作品的,應在授權范圍內使用,并注明“來源:化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者,本網(wǎng)將追究其相關法律責任。
- 本網(wǎng)轉載并注明自其他來源(非化工儀器網(wǎng))的作品,目的在于傳遞更多信息,并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負責,不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉載時,必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源,并自負版權等法律責任。
- 如涉及作品內容、版權等問題,請在作品發(fā)表之日起一周內與本網(wǎng)聯(lián)系,否則視為放棄相關權利。