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真空計(jì)是測(cè)量真空系統(tǒng)中氣體壓強(qiáng)的儀器,種類很多,這里介紹的復(fù)合真空計(jì)是常見的一種,復(fù)合真空計(jì)是由溫差電偶真空計(jì)與熱陰極電離真空計(jì)組合而成。下面給大家簡(jiǎn)單介紹下各類各類真空計(jì)原理。
溫差電偶真空計(jì)的原理，溫差電偶真空規(guī)管由玻璃制成,通過小管8和真空系統(tǒng)相接,如圖2所示,在規(guī)管內(nèi)的兩根引線上裝有熱絲3,另外兩根引線上焊著一對(duì)溫差電偶4,溫差電偶的另一端與熱絲在A點(diǎn)焊接。
由于在低壓下,氣體的熱傳導(dǎo)系數(shù)與壓強(qiáng)成正比,所以在通過熱絲的電流(90～150mA)一定的條件下,熱絲的溫度隨著規(guī)管內(nèi)真空度的提高而升高,溫差電偶電動(dòng)勢(shì)也就隨之而增大。因此,通過測(cè)量溫差電偶電動(dòng)勢(shì),就可確定出被測(cè)系統(tǒng)的真空度,溫差電偶真空計(jì)就是根據(jù)這個(gè)原理制成的。溫差電偶真空計(jì)的電離真空計(jì)的測(cè)量范圍1～5×10-2Pa。
熱陰極電離真空計(jì)的原理:電離真空規(guī)管就是一只三極管,通過B管與真空系統(tǒng)相接,使用時(shí),在燈絲電路中通以電流5mA,燈絲受熱后便發(fā)射電子,由于柵極為正電壓,使電子加速,中途與氣體分子相碰,氣體的密度越大,碰撞機(jī)會(huì)越大,產(chǎn)生的正離子也越多。另外,由于板極電壓為負(fù),便吸引正離子在板極電路中形成板極電流Ip,氣體分子密度越大(即壓強(qiáng)越大),板極電流也越大,反之就小。所以,通過測(cè)量板極電流便可以確定氣體的壓強(qiáng),熱陰極電離真空計(jì)就是根據(jù)這個(gè)原理制成的。熱陰極電離真空計(jì)是測(cè)量*真空的儀器,測(cè)量范圍為1×10-2～1×10-5Pa。注意:一旦測(cè)量完結(jié),立刻關(guān)閉電離真空規(guī)管燈絲,這樣可延長(zhǎng)規(guī)管使用壽命。
復(fù)合真空計(jì)的使用,復(fù)合真空計(jì)由上述兩種真空計(jì)組合而成,現(xiàn)在常用的型號(hào)有K型和FZH型,使用方法基本相同。現(xiàn)就WZK-1A型介紹如下。如圖4所示是K-1A型的板面圖,K1為電流總開關(guān),開關(guān)K3、K4及電位器W5和電表CB2屬于溫差電偶真空計(jì)部分,其余均屬于熱陰極電離真空計(jì)部分,溫差電偶真空規(guī)管和電離真空規(guī)管已經(jīng)焊接在真空系統(tǒng)上,測(cè)量時(shí),各用一根電纜線與復(fù)合真空計(jì)相接,在使用前或停止使用時(shí),應(yīng)該使面板上的所有開關(guān)都處于關(guān)閉狀態(tài).
(1)溫差電偶真空計(jì)的使用:接通電流,預(yù)熱10min,使K4放在(加熱電流)位置,調(diào)節(jié)W5使CB2表的指針在下面一行刻度(mA)上達(dá)到加熱電流的規(guī)定值(記在每只溫差電偶真空管的管座上或按說明書規(guī)定),然后使K4放在(測(cè)量)位置,從CB2表的上面一行刻度(mV)可讀出溫差電偶電動(dòng)勢(shì),利用規(guī)管標(biāo)準(zhǔn)曲線,即可查出所測(cè)的真空度(有的溫差電偶真空度直接刻在CB2表分度盤上)。
(2)電離真空計(jì)的使用:當(dāng)被測(cè)系統(tǒng)的真空度低于0.1Pa時(shí),不能接通電離真空計(jì),否則會(huì)燒壞電離真空規(guī)管,必須在溫差電偶真空計(jì)CB2表的指針達(dá)到滿偏轉(zhuǎn)刻度時(shí),才能使用電離計(jì),電離真空計(jì)暫時(shí)不用時(shí),需斷開電離計(jì)電源,否則會(huì)影響電離真空規(guī)管的壽命。
?、侔l(fā)射電源的調(diào)節(jié):在未接通電源時(shí),采用五芯電纜線把電離真空規(guī)管與儀器聯(lián)接,帶鱷魚夾的接線與電離真空規(guī)管板極聯(lián)接,有香蕉插頭一端與儀器背面接線柱連接,接通電源,預(yù)熱10min,把K7放在(測(cè))位置,K6放在(發(fā)射電流)位置,調(diào)W4使CB1表指針指在紅色標(biāo)線“5”處。此時(shí)發(fā)射電流即為標(biāo)準(zhǔn)值5mA。
②零點(diǎn)調(diào)整:完成上一步后,K6放在(測(cè)量)位置,K5放在(調(diào)零)位置,調(diào)節(jié)W3讓表的指針指向零。
?、蹪M偏轉(zhuǎn)刻度調(diào)整:完成調(diào)零工作后,把K5置于(測(cè)量)位置,把W1調(diào)到(校準(zhǔn))位置,調(diào)節(jié)W2使指針滿刻度。
?、軠y(cè)量壓強(qiáng)(真空度):完成上一步后,將W1轉(zhuǎn)到量程103,102,?;由電表指示的數(shù)值乘以量程開關(guān)所指示的數(shù)值,即所測(cè)量真空度之值。
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