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高精度控溫系統(tǒng)有效提高了溫控質(zhì)量
高精度控溫系統(tǒng)主要用于控制反應(yīng)器和反應(yīng)器的溫度，特別適用于反應(yīng)過(guò)程中需要加熱放熱過(guò)程的控制。釜內(nèi)物料溫度可精確、線性控制，可選擇程序控制模式，也可設(shè)定傳熱介質(zhì)與物料的溫差。
高精度控溫系統(tǒng)采用全封閉管道設(shè)計(jì)，高效板式換熱器，整個(gè)系統(tǒng)在高溫下不會(huì)產(chǎn)生油霧，在低溫下不會(huì)吸水。系統(tǒng)中有一個(gè)膨脹罐，用于冷卻和加熱過(guò)程。導(dǎo)熱介質(zhì)受熱膨脹，受冷收縮。具有控制顯示屏，可清晰顯示各種溫度（物料溫度點(diǎn)\溫控系統(tǒng)出口溫度\入口溫度）實(shí)時(shí)在線控制狀態(tài)，記錄的溫度曲線數(shù)據(jù)可自動(dòng)存儲(chǔ)，支持U盤(pán)等數(shù)據(jù)導(dǎo)出（使用不能改變數(shù)據(jù)內(nèi)容的存儲(chǔ)格式）或數(shù)據(jù)在線打印功能。整套設(shè)備采用不銹鋼外包；全封閉液體循環(huán)系統(tǒng)。系統(tǒng)內(nèi)有膨脹容器，膨脹容器與液體循環(huán)系統(tǒng)絕緣。無(wú)論循環(huán)液溫度高低，膨脹容器內(nèi)的介質(zhì)都保持室溫。高溫不產(chǎn)生油霧，不易氧化，低溫不吸收空氣中的水分。
1、高精度溫度采集電路：創(chuàng)新性地采用比例法和勵(lì)磁換向技術(shù)，系統(tǒng)溫度分辨率可達(dá)0.001℃，檢測(cè)精度可達(dá)±0.01℃。
2、大功率高可靠性半導(dǎo)體制冷驅(qū)動(dòng)：采用H橋電路切換半導(dǎo)體制冷膜的加熱和冷卻模式，解決了無(wú)死區(qū)保護(hù)和低功率問(wèn)題驅(qū)動(dòng)電路類型；該設(shè)計(jì)引入了濾波和保護(hù)電路，大大提高了半導(dǎo)體制冷片的壽命和驅(qū)動(dòng)電路的可靠性。
3、雙向多模式控溫：控溫策略充分考慮了半導(dǎo)體制冷薄膜的加熱和冷卻輸出功率差異、功率隨溫度變化、系統(tǒng)加熱的隨機(jī)性等因素和冷卻模式切換。它結(jié)合了單點(diǎn)和掃描，高低溫分段處理，隨環(huán)境溫度變化動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)等多種溫控調(diào)節(jié)方式。
高精度控溫系統(tǒng)不僅提高了溫控質(zhì)量，而且實(shí)現(xiàn)了溫度自動(dòng)報(bào)警、參數(shù)制表、數(shù)據(jù)打印、數(shù)據(jù)歸檔等功能，有效提高了晶體生產(chǎn)的技術(shù)和管理水平。
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