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（1）質(zhì)量流量控制器能用于控制腐蝕性氣體和特殊氣體嗎？
質(zhì)量流量控制器可以用于控制各種氣體，包括腐蝕性氣體和特殊氣體，但是要注意，對(duì)于使用腐蝕性氣體和特殊氣體，需要恰當(dāng)選擇型號(hào)和密封材料。用戶在訂貨時(shí)，需要向供貨廠商特殊聲明使用氣體，以免因?yàn)檫x型或選擇密封材料錯(cuò)誤，造成嚴(yán)重?fù)p失。
（2）如何選擇密封材料？
通常氣體質(zhì)量流量控制器接觸工作氣體的材料為316L不銹鋼、聚四氟乙烯和密封材料等，密封材料又分為金屬密封和橡膠密封兩大類。
金屬密封的材料一般為不銹鋼、金或鎳等耐腐蝕材料。采用金屬密封的MFC原則上可以用于任何氣體，包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。對(duì)于三溴化硼、三氯化硼、氟化氫等強(qiáng)腐蝕性氣體和MOCVD使用的金屬氧化物氣體建議最好采用金屬密封的MFC。
由于金屬密封的MFC價(jià)格較高，通常在要求不高的場(chǎng)合，均采用橡膠密封的MFC。如果不特殊聲明，MFC都采用氟橡膠密封，可以用于大多數(shù)酸性和堿性腐蝕性氣體，例如可以用于氯化氫等鹵族干燥氣體。
其它一些特殊腐蝕性氣體，需要采用特種橡膠。
如：氨氣——需要采用耐氨橡膠，如乙丙橡膠、氯丁橡膠或丁晴橡膠;
有機(jī)溶劑汽氛(丙酮、甲苯等)——需要采用硅橡膠;
三溴化硼、三氯化硼、氟化氫等——需要采用全氟橡膠。
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