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離子分子質(zhì)譜儀工作耐壓值高，脈動小、穩(wěn)定可靠。進樣器與整機分體式模式，具有良好的抗干擾性和可拓展性。接頭、流路均使用進口Peek材料，耐強酸強堿。連續(xù)自動再生電化學(xué)抑制器，抑制容量高。高分辨率觸摸屏配有WinCE操作系統(tǒng)，以及全中/英文顯示的數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)。
離子分子質(zhì)譜儀的主要用途：
1.摻雜劑與雜質(zhì)的深度剖析。
2.薄膜的成份及雜質(zhì)測定。
3.超薄薄膜、淺植入的超高深度辨析率剖析。
4.硅材料整體分析，包含B,C,O,以及N。
5.工藝工具(離子植入)的高精度分析。
6.可以用于材料表面和表層的化學(xué)成份分析?；瘜W(xué)元素或化合物在表面和塊體材料內(nèi)部的分布。以及生物組織表面和內(nèi)部成份和分布分析。包括如半導(dǎo)體，生物，冶金，汽車等領(lǐng)域。
離子分子質(zhì)譜儀送樣時注意事項：
1、待測試的樣品表面不能被沾污；
2、易潮解，易與空氣發(fā)生反應(yīng)的樣品，在送樣過程中應(yīng)注意隔離空氣；
3、用帶蓋的玻璃小試管、小容量瓶等容器裝樣；不要直接使用塑料容器、塑料袋、含硅的膠帶或膠面和紙袋，以免硅樹脂或纖維污染樣品表面；
4、如為揮發(fā)性高分子樣品或具揮發(fā)性覆膜，務(wù)必先自行在真空加熱爐中抽除揮發(fā)性分子；如果樣品置入真空腔后，隔夜無法抽至5X10E-7torr以下，測試將被取消；
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