手機版
化工儀器網(wǎng)手機版
化工儀器網(wǎng)小程序
官方微信
公眾號：chem17
掃碼關(guān)注視頻號
Proportionair比例閥在半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用之一-----晶圓拋光
用硅晶片制造出平坦表面是集成電路制造的必要條件。當(dāng)您在納米范圍內(nèi)工作時，您需要確保您的氣動裝置與您的工藝一樣精確。通過將施加在拋光墊上的壓力控制在小至滿量程的0.005%的增量，比例空氣閥提供了這種信任，同時也是業(yè)內(nèi)最高分辨率之一。
在半導(dǎo)體工業(yè)中，晶圓是用于許多不同應(yīng)用的硅錠薄片。半導(dǎo)體晶片拋光是準備使用晶片的最重要步驟之一。
可以使用許多不同類型的拋光工具，但需要精確的力控制來制造一致的產(chǎn)品。在此應(yīng)用中，安裝在SBM-7底座歧管上的7個MM1控制對用于拋光晶片的彈簧加載缸施加壓力。底座有一個共同的供氣口和一個共同的排氣口，但如果需要，每個MM單元可以獨立工作。
相關(guān)產(chǎn)品
免責(zé)聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負責(zé)，不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負版權(quán)等法律責(zé)任。
- 如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題，請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。
采購中心