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Proportionair比例閥在半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用之一——氣缸速度控制
液壓是氣缸速度控制應(yīng)用的傳統(tǒng)方法。
使用 Proportion-Air F 系列質(zhì)量流量控制器，就不需要傳統(tǒng)的液壓控制了。僅使用壓縮空氣即可控制氣缸的速度，使用比例空氣 FA 系列閉環(huán)質(zhì)量流量控制閥進(jìn)行控制。該產(chǎn)品響應(yīng)速度非?？欤梢噪S時調(diào)整速度。
比例空氣封閉系統(tǒng)閥門非常精確。離開氣缸（到大氣）的空氣質(zhì)量流量由電子質(zhì)量流量控制閥、質(zhì)量流量監(jiān)控器、傳統(tǒng)的四通/五通電磁閥和有時附加的電子壓力調(diào)節(jié)器組合控制。電磁閥用于在伸出和縮回之間改變氣缸方向。但無論氣缸是伸出還是縮回，伸出或縮回的速度始終由電子流量控制包通過計量氣缸的排氣來控制。
因為對氣缸的電子設(shè)定點命令可以改變，所以速度可以在運行中改變。可以將軟啟動和軟停止編程到PLC中，這可以真正減少氣缸的磨損。
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