主動(dòng)隔振臺(tái)是由電氣進(jìn)行控制,通過(guò)反向力進(jìn)行消除振動(dòng),通過(guò)傳感器進(jìn)行檢測(cè)振動(dòng)的頻率,持續(xù)產(chǎn)生振動(dòng)的隔離狀態(tài),有效進(jìn)行消音作用。而被動(dòng)隔振臺(tái)是由機(jī)械的裝置進(jìn)行控制,利用彈簧的彈性體進(jìn)行有效減少振動(dòng),這一系列的流程是由氣動(dòng)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)的。
工作原理:
安裝有測(cè)量和制造設(shè)備的地板或多或少會(huì)有振動(dòng)。如果這些振動(dòng)對(duì)設(shè)備造成不利影響,有效的解決方案則是使用隔振臺(tái)(減振臺(tái)),以便營(yíng)造適合該設(shè)備的條件。使用電氣控制,通過(guò)對(duì)傳入振動(dòng)施加反方向的力來(lái)立即消除振動(dòng)。傳感器不斷監(jiān)測(cè)振動(dòng),并基于該信息,執(zhí)行器沿相反方向產(chǎn)生作用力,并繼續(xù)產(chǎn)生的振動(dòng)隔離狀態(tài)。它擅長(zhǎng)于10Hz以下的低頻范圍內(nèi)的隔振。
內(nèi)部結(jié)構(gòu)有彈簧零件,主要目的是利用可變形的作用進(jìn)行吸收能量,從而減少設(shè)備上的振動(dòng),雖然效果很好,但共振放大之后就會(huì)有些嚴(yán)重;除此之外,還有橡膠材質(zhì),跟彈簧的一樣,主要是通過(guò)變形吸收熱量,不同的是,橡膠能吸收各個(gè)方向的;就是一個(gè)氣動(dòng)平臺(tái)的系統(tǒng),通過(guò)壓縮空氣活塞來(lái)減少地面的振動(dòng)。
主動(dòng)隔振臺(tái)采用的隔振技術(shù),適用于任何研究情況下,可以隔離6個(gè)自由度方向上的振動(dòng),包括水平和垂直方向。平臺(tái)利用控制器內(nèi)的壓電加速度傳感器來(lái)傳感外界傳入的振動(dòng),通過(guò)將外界的壓力信息轉(zhuǎn)換為電信號(hào)發(fā)送至隔離模塊中的壓電換能器中,然后改換能器產(chǎn)生一個(gè)與傳入壓力大小相等,相位相反的壓力信號(hào)來(lái)消除傳入振動(dòng)。隔振系統(tǒng)利用一個(gè)反饋回路來(lái)消除隔振系統(tǒng)的機(jī)械共振??蔀閷?shí)驗(yàn)室中對(duì)震動(dòng)敏感的設(shè)備如電鏡,光學(xué)器件等精密儀器隔離來(lái)自地面的震動(dòng),提供穩(wěn)定的測(cè)試環(huán)境。
應(yīng)用范圍:
超高真空掃描探針顯微鏡(UHV-SPM)
光刻工具
高精度計(jì)量工具
光譜儀器
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