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直線度測(cè)量?jī)x采用高穩(wěn)頻氦氛激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊、幾何參量干涉光路設(shè)計(jì)、高精度激光干涉信號(hào)處理系統(tǒng)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)各種參數(shù)的高精度測(cè)量。通過激光熱穩(wěn)頻控制技術(shù)，實(shí)現(xiàn)快速(約6分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出，采用不同的光學(xué)鏡組可以測(cè)量出線性、角度、直線度、平面度和垂直度等幾何量，并且可以進(jìn)行動(dòng)態(tài)分析。
具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高、測(cè)量范圍大等優(yōu)點(diǎn)。通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測(cè)量。在相關(guān)軟件的配合下，還可以對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行動(dòng)態(tài)性能檢測(cè)，可以進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測(cè)試與分析，滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析，驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析等，具有高精度效率，為機(jī)床誤差修正提供依據(jù)。
直線度測(cè)量?jī)x使用方法：
1、直線度測(cè)量原理
雙頻激光測(cè)頭輸出光經(jīng)過直線度干涉鏡，按偏振態(tài)被分成兩束，以一定角度發(fā)散后入射到直線度反射鏡。光束從直線度反射鏡返回，沿新光路回到直線度干涉鏡后，合成一束回到光線接收端，進(jìn)行干涉測(cè)量。
通過檢測(cè)光路與干涉鏡和反射鏡之間的橫向位移，就可以得到導(dǎo)軌相對(duì)于激光光路參考線的直線度誤差。直線度可以在水平面或垂直面上進(jìn)行，這取決于直線度干涉鏡和反射鏡的布置。
2、數(shù)據(jù)采集和處理
數(shù)據(jù)采集方法：使待測(cè)機(jī)床軸移動(dòng)到若干個(gè)不同位置(或“目標(biāo)”)，然后測(cè)量直線度誤差?？梢詮囊粋€(gè)目標(biāo)位置移動(dòng)到下一個(gè)目標(biāo)位置時(shí)，暫停幾秒，在此過程中進(jìn)行測(cè)量。
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