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德國(guó)CMC微量水的主機(jī)采用陶瓷傳感器，此傳感器應(yīng)用夾膜半導(dǎo)體技術(shù)和金屬制陶技術(shù)制作而成，具有可靠性。該陶瓷是惰性的，具有響應(yīng)快，穩(wěn)定性好，可用于多種惰性氣體測(cè)量當(dāng)傳感器暴露于氣體中時(shí)，氣體中的水汽分壓的變化會(huì)引起電參數(shù)的變化，通過(guò)測(cè)量電參數(shù)的變化就可以測(cè)量到氣體的濕度。是一套工業(yè)在線分析微量水裝置，是在線連續(xù)分析測(cè)量氣體成份的成套系統(tǒng)。它廣泛應(yīng)用于化工、電力、環(huán)保、空分、制氫、制氧和生物發(fā)酵等工業(yè)生產(chǎn)過(guò)程氣體(如H2、H4O、CO、CO2、S02、NHk、CL2、Ar、CH、CHsOH等)中微量水在線分析測(cè)量，為生產(chǎn)流程提供可靠的工藝參數(shù)，為安全運(yùn)行提供有力保證。
德國(guó)CMC微量水的測(cè)定方法：
卡爾.費(fèi)休庫(kù)倫可以簡(jiǎn)單地理解為氣體的水蒸氣含量達(dá)到飽和時(shí)的溫度，這是表示氣體絕對(duì)濕度的方法之一。因此，卡爾.費(fèi)休庫(kù)倫儀是一種特殊的濕度計(jì)。常用的卡爾.費(fèi)休庫(kù)倫計(jì)有冷凝式和氟化鋁式。是筒單的卡爾.費(fèi)休庫(kù)倫儀，稱為卡爾.費(fèi)休庫(kù)倫杯。金屬圓簡(jiǎn)里裝滿了容易氣化的液體。當(dāng)溫度略低于周圍氣體的卡爾.費(fèi)休庫(kù)倫時(shí)，金屬圓筒的表面將因冷凝而失去光澤。此時(shí)，溫度計(jì)上顯示的值是被測(cè)氣體的卡爾.費(fèi)休庫(kù)倫。
陶瓷氧化鋁傳感器的卡爾.費(fèi)休庫(kù)倫工作原理是基于水的導(dǎo)電性。多孔吸濕層像“三明治”一樣夾在陶瓷基板上的兩個(gè)導(dǎo)電層之間。吸附水分子后，吸濕活性層的導(dǎo)電性將發(fā)生變化。采用氧化鋁超薄膜電容測(cè)量原理。其內(nèi)芯為高純鋁棒，表面氧化成氧化鋁膜，并涂有多孔金膜。在金膜和內(nèi)芯之間形成電容以形成傳感器。當(dāng)水蒸氣分子被吸入時(shí)，電容值發(fā)生變化。濕度可以通過(guò)檢測(cè)和放大電容信號(hào)來(lái)獲得。
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