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微量氣體流量計采用熱擴散原理，熱擴散技術是一種在苛刻條件下性能優(yōu)良、可靠性高的技術。其典型傳感元件包括兩個熱電阻(鉑RTD)，一個是速度傳感器，一個是自動補償氣體溫度變化的溫度傳感器。當兩個RTD被置于介質中時，其中速度傳感器被加熱到環(huán)境溫度以上的一個恒定的溫度,另一個溫度傳感器用于感應介質溫度。流經(jīng)速度傳感器的氣體質量流量是通過傳感元件的熱傳遞量來計算的。氣體流速增加，介質帶走的熱量增多。使傳感器溫度隨之降低。為了保持溫度的恒定，則必須增加通過傳感器的工作電流，此增加的部分電流大小與介質的流速成正比。
微量氣體流量計在計量過程中影響準確性的因素。主要有以下幾個方面：
1、不合理的管道設計可能造成較大的計量誤差。兩條并聯(lián)的管道，當主管網(wǎng)用氣時，分管網(wǎng)手動閥關閉。儀器計量正常，當分管網(wǎng)也用氣時，手動閥打開，由于主管道的氣體由分管道分流一部分，會使主管道內(nèi)的氣壓下降，使得流量計表前的壓力小于表后的壓力，流量計反轉，流量計也累積流量，造成了雙倍計量。為避免這種情況必須在1號流量計前面安裝一個單向閥。
2、安裝方式正確有助于提高計量準確性和延長使用壽命。安裝到管道上時，應保證儀器表體上的螺紋孔和管道法蘭的螺孔對準，保證法蘭的平行度，避免儀器承受其他外力，防止表體受力變形，使儀器卡死。開啟時，應先打開前閥門，然后緩慢打開后閥門，使流量計有壓啟動，避免由于氣錘效應，氣體把流量計轉子沖擊變形，造成流量計卡死。
3、高壓計量低壓用氣。就是將計量室安裝到高壓管道上，然后通過調(diào)壓器調(diào)壓，用氣戶在低壓管道上用氣，當?shù)蛪汗艿赖挠脷鈶粲脷饬坎淮髸r，根據(jù)氣體狀態(tài)方程，在溫度相差不多時，低壓管道的小流量反算到高壓管道流量會更小，甚至這個流量達不到流量計的始動流量。流量計不計數(shù)。所以會引起較大的計量誤差。
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