API激光干涉儀XD LASER技術(shù)參數(shù):
5D/6D標準型:
1. 線性:0.5ppm .
2. 測量范圍:40米(1D可選80米)
3. 線性分辨力:0.001um.
4. 偏擺角和俯仰角的精度:(1.0+0.1/m)角秒或1%顯示較大值
5. 最大范圍:800角秒
6. 滾動角精度:1.0角秒
7. 直線度精度:(1.0+0.2/m)um或1%顯示較大值
8. 直線度最大范圍:500um
9. 垂直度精度:1角秒
10. 溫度精度:0.2攝氏度
11.濕度精度:5%
12.壓力精度:1mmHg
API激光干涉儀XD LASER主要特點:
1. 同時測量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動角
2. 設(shè)計用于安裝在機床主軸上的5D/6D傳感器
3. 可選的無線遙控傳感器最長的控制距離可到25米
4. 可測量速度、加速度、振動等參數(shù),并評估機床動態(tài)特性。
5. 全套系統(tǒng)重量僅15公斤,設(shè)計緊湊、體積小,測量機床時不需三角架
6. 集成干涉鏡與激光器于一體,簡化了調(diào)整步驟,減少了調(diào)整時間
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