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一、燒結(jié)爐是指使粉末壓坯通過燒結(jié)獲得所需的物理、力學(xué)性能以及微觀結(jié)構(gòu)的專用設(shè)備。燒結(jié)爐用于烘干硅片上的漿料、去除漿料中的有機(jī)成分、完成鋁背場及柵線燒結(jié)。
二、應(yīng)用原理：為了保證粉末壓坯在燒結(jié)過程中的脫蠟(潤滑劑或成形劑)、還原、合金化、組織轉(zhuǎn)變等順利進(jìn)行，燒結(jié)時需要對燒結(jié)溫度、保護(hù)氣氛、壓坯傳送方式、加熱和冷卻速度等進(jìn)行精確的控制。
三、分類：
(1)推桿式燒結(jié)爐，是將壓坯裝于燒舟中或墊塊上，用機(jī)械(或手動)傳動，推進(jìn)爐內(nèi)進(jìn)行燒結(jié)。根據(jù)推舟是連續(xù)的還是間歇的，這種爐子又分為連續(xù)推進(jìn)式和間歇推進(jìn)式兩種。
(2)網(wǎng)帶爐，網(wǎng)帶爐由驅(qū)動裝置，燒除區(qū)，燒結(jié)區(qū)，冷卻區(qū)(水套冷卻式)，進(jìn)、卸料裝置，加熱裝置，各種配管及電氣、測試裝置組成。
(3)鐘罩式加壓燒結(jié)爐，用于生產(chǎn)粉末冶金摩擦片的專用燒結(jié)爐。在燒結(jié)中可施加壓力，以使摩擦片快速、有效地與基板粘結(jié)。
(4)真空燒結(jié)爐內(nèi)部通常是由加熱部分和隔熱保溫兩部分組成的燒結(jié)區(qū)。加熱形式有電熱元件(如碳管、碳棒)加熱、中頻感應(yīng)加熱兩種。爐子的冷卻采用水夾套冷卻。為了加速冷卻，可向爐內(nèi)通入氫、氮、氬等氣體。
四、燒結(jié)爐特點(diǎn)：
(1)具有完善的潤滑劑燒除裝置(俗稱脫蠟帶)。
(2)具有氣密性，即能隔絕爐外空氣并保證爐內(nèi)保護(hù)氣氛暢通。
(3)爐內(nèi)的各段溫度可控，燒結(jié)氣氛可調(diào)。
(4)具有快速冷卻裝置，可將燒結(jié)零件快速冷卻到出爐溫度而不會氧化。
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