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真空鍍碳儀為SEM、TEM、STEM、EDS/WDS、EBSD和微探針?lè)治鎏峁└哔|(zhì)量的鍍膜技術(shù)。產(chǎn)品結(jié)構(gòu)緊湊，所占空間小。樣品室直徑150mm，可快速抽真空進(jìn)行鍍膜處理，處理周期約10分鐘。高真空條件下使用超純的碳棒為嚴(yán)格的高分辨掃描電鏡、透射電鏡、EBSD及探針?lè)治鎏峁└哔|(zhì)量的鍍膜處理。組件設(shè)計(jì)方式可方便地對(duì)不同優(yōu)化條件下的各種應(yīng)用進(jìn)行切換。
真空鍍碳儀操作流程：
1、連接電源并打開(kāi)主機(jī)（POWER）。
2、等綠燈亮后，再等3~5分鐘再調(diào)節(jié)電壓（4V）和時(shí)間（6s）。
3、打開(kāi)主機(jī)背面的小開(kāi)關(guān)，調(diào)整轉(zhuǎn)速在3~4檔，并設(shè)定電壓和時(shí)間。
4、打開(kāi)測(cè)厚儀并使其歸零。
5、按START鍵開(kāi)始噴碳。
6、實(shí)驗(yàn)結(jié)束先停止設(shè)備轉(zhuǎn)動(dòng)，并先關(guān)掉設(shè)備背面小開(kāi)關(guān)。
7、再關(guān)POWER。
8、關(guān)機(jī)后打開(kāi)玻璃罩上蓋，等其降到實(shí)溫之后再將其蓋好。
使用后的必要維護(hù)：
1、為保證真空鍍膜設(shè)備有清潔的工作環(huán)境，滑閥泵排出的氣體必須用管道將它排出工作房之外，因?yàn)閺幕y泵排出的氣體含有很多微小的油霧會(huì)污染被鍍的工件，嚴(yán)重影響膜層的質(zhì)量。
2、平時(shí)整個(gè)系統(tǒng)要保持真空狀態(tài)，工作前才充入氣體，不要使真空室長(zhǎng)期暴露在大氣中。
3、經(jīng)常檢查膠封是否良好，特別是動(dòng)密封圈，定期給動(dòng)密封處加上真空脂。
4、定期檢查電氣元件，清除灰塵，更換燒壞的元器件。
5、定期清潔真空室并盡量抹干，每次都*洗干凈，以免造成越來(lái)越難洗的現(xiàn)象。烘干后再鍍膜，頭一爐應(yīng)比原來(lái)延長(zhǎng)四倍時(shí)間才鍍膜。
6、定期更換擴(kuò)散泵油，更換真空泵及羅茨泵油。更換擴(kuò)散泵油前一定要確認(rèn)真空度是否低于1X102Pa，擴(kuò)散泵里面的油溫是否*冷卻到常溫狀態(tài)后，方可進(jìn)行加熱或充大氣進(jìn)行拆卸，否則會(huì)產(chǎn)生傷害人的嚴(yán)重后果。
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