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平面氣浮運動臺用于晶圓測量，要求系統(tǒng)在以生產(chǎn)快速運行時，能否準確識別和測量出晶圓的種種缺陷。這要求機械裝置的剛性高，精度好，能夠快速響應(yīng)使系統(tǒng)能夠快速穩(wěn)定下來，達到目標(biāo)掃描速度識別出晶圓的種種缺陷，滿足晶圓每小時生產(chǎn)效率的關(guān)鍵要求。
針對行業(yè)應(yīng)用，我司研發(fā)平面氣浮運動臺，平面式氣浮結(jié)構(gòu)設(shè)計，使XY軸運動結(jié)構(gòu)共面，兩軸的反饋機構(gòu)在同一個水平面，相當(dāng)于單軸運動，不存在因疊層引起的阿貝誤差，此結(jié)構(gòu)提升了動態(tài)跟蹤誤差，高速響應(yīng)頻率及位置穩(wěn)定性，開發(fā)的氣浮軸承補償方法，提高了剛性和負載能力，以滿足高動態(tài)響應(yīng)的要求，可實現(xiàn)快速運動和非常快的位置整定。
應(yīng)用如晶圓切割，光子學(xué)，掃描，以及平板顯示器制造中。該平臺均是直接驅(qū)動、直接反饋型設(shè)備，經(jīng)過大量的測試，可確保達到的精度和穩(wěn)定性性能。更詳細的行業(yè)解決方案，歡迎致電我們共同討論
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