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日本seisen半導(dǎo)體氣體過濾器產(chǎn)品分析
NASclean®是將微米級不銹鋼短纖維（SUS316L）燒結(jié)而成的薄層金屬膜過濾器。我們通過從過濾介質(zhì)（不銹鋼短纖維）到最終產(chǎn)品的一體化生產(chǎn)，為半導(dǎo)體、平板顯示器、太陽能電池板等生產(chǎn)過程中使用的氣體過濾做出貢獻。
用于工藝氣體
使用不銹鋼短纖維的金屬膜過濾器。
壓力損失小，顆粒去除性能高。
適用于100SLM以下的流量，可用于各種工藝氣體。
用于工藝氣體管線的小流量過濾器 (186KB)
用于散裝氣體
過濾介質(zhì)的褶皺形狀即使在高流量下也能實現(xiàn)低壓損失。
高溫烘烤是可能的，因為它是全金屬的。
支持高達3000Nm 3 /hr的大流量。
用于散裝氣體管線的大流量過濾器 (178KB)
用于設(shè)備保護
MFC、閥門、調(diào)節(jié)器等設(shè)備保護過濾器
可根據(jù)使用條件選擇低壓型或高壓型。
可安裝在現(xiàn)有管道上。
管式高壓超精密過濾器 (199KB)
低壓用圓盤式超精密過濾器 (182KB)
用于 IGS 面板
與集成氣體面板過濾器、1.125W-Seal、1.125C-Seal、1.5W-Seal 兼容。
通過采用褶皺介質(zhì)實現(xiàn)小型化。
采用機械密封，介質(zhì)部分為無焊縫結(jié)構(gòu)。
用于集成氣體面板的 IGS 過濾器 (202KB)
用于擴散器
使用褶皺介質(zhì)可實現(xiàn)高速排氣。
通過防止顆粒卷起有助于提高產(chǎn)品產(chǎn)量。
可根據(jù)安裝空間進行設(shè)計。
用于常壓恢復(fù)的高速排氣過濾器 (189KB)
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