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掃描電子顯微鏡（Scanning Electron Microscope，SEM）,簡(jiǎn)稱掃描電鏡，是功能強(qiáng)、用途廣的材料表征工具，已廣泛應(yīng)用于材料，冶金，礦物，生物學(xué)等領(lǐng)域。掃描電子顯微鏡主要由五大系統(tǒng)組成，即電子光學(xué)系統(tǒng)、信號(hào)探測(cè)處理和顯示系統(tǒng)、樣品室、真空系統(tǒng)、電源供給系統(tǒng)。
1 電子光學(xué)系統(tǒng)
由電子槍，電磁透鏡，掃描線圈和樣品室等部件組成。其作用是用來獲得掃描電子束，作為信號(hào)的激發(fā)源。為了獲得較高的信號(hào)強(qiáng)度和圖像分辨率，掃描電子束應(yīng)具有較高的亮度和盡可能小的束斑直徑。
2 信號(hào)收集及顯示系統(tǒng)
檢測(cè)樣品在入射電子作用下產(chǎn)生的物理信號(hào)，然后經(jīng)視頻放大作為顯像系統(tǒng)的調(diào)制信號(hào)。現(xiàn)在普遍使用的是電子檢測(cè)器，它由閃爍體，光導(dǎo)管和光電倍增器所組成。
3 樣品室
主要部件是樣品臺(tái)。它能夾持一定尺寸的樣品，并能使樣品進(jìn)行三維空間的移動(dòng)，還能傾斜和轉(zhuǎn)動(dòng),以利于對(duì)樣品上每一特定位置進(jìn)行各種分析。
4 真空系統(tǒng)
真空系統(tǒng)的作用是為保證電子光學(xué)系統(tǒng)正常工作，防止樣品污染，一般情況下要求保持10-4~10-5Torr的真空度。
5 電源系統(tǒng)
電源系統(tǒng)由穩(wěn)壓，穩(wěn)流及相應(yīng)的安全保護(hù)電路所組成，其作用是提供掃描電鏡各部分所需的電源。
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