真空泵是利用機械、物理、化學、物理化學等方法對容器進行抽氣，以獲得和維持真空的裝置。真空泵和其他設備(如真空容器、真空閥、真空測量儀表、連接管路等)組成真空系統(tǒng)，廣泛應用于電子、冶金、化工、食品、機械、醫(yī)藥、航天等部門。真空泵按結構類型可分為機械式，噴射式和吸著式，凡是利用機械運動來獲得真空的泵稱為機械真空泵。按其工作原理及機構特點分為變?nèi)菡婵毡煤蛣恿總鬏敱?，變?nèi)菔秸婵毡檬抢帽们蝗莘e的周期性變化來完成吸氣和排氣以達到抽氣目的的真空泵。這種泵分為旋轉式和往復式兩種，旋轉式真空泵利用泵腔內(nèi)轉子部件的旋轉運動將氣體吸入、壓縮并排出，主要有有以下4 類：(1)液環(huán)真空泵；(2)油封式真空泵；(3)干式真空泵；(4)羅茨真空泵。液環(huán)真空泵將帶有多葉片的轉子偏心裝在泵殼內(nèi)。當它旋轉時，把工作液體拋向泵殼形成與泵殼同心的液環(huán)，液環(huán)同轉子葉片形成了容積周期變化的幾個小的旋轉變?nèi)菸艢馇?。工作液體通常為水或油，所以亦稱為水環(huán)真空泵或油環(huán)真空泵。用水作工作液，極限壓強只能達到2000~4000 Pa。用油作工作液，可達130 Pa.

機械真空泵分類

2、油式旋片真空泵機構與工作原理

　　油式旋片真空泵主要由定子、轉子、旋片、定蓋、彈簧等零件組成。在泵腔內(nèi)偏心地安裝帶有旋片的轉子，轉子槽中裝有旋片。轉子和旋片將定子腔分成吸氣和排氣兩部分。當轉子在定子腔內(nèi)旋轉時周期性地將進氣口方面容積逐漸擴大而吸入氣體，同時逐漸縮小排氣口一側的容積將已吸入的氣體壓縮并從排氣口排出[4]。旋轉時將真空泵油拋向泵殼形成于泵殼同心的油環(huán)，油環(huán)同轉子葉片形成了容積周期變化的幾個小的旋轉變?nèi)菸艢馇?。圖2 所示為油式旋片泵的工作原理示意圖，泵其結構是利用偏心地裝在定子腔內(nèi)的轉子(轉子的外圓與定子的內(nèi)表面相切兩者之間的間隙非常小)和轉子槽內(nèi)滑動的借助彈簧張力和離心力緊貼在定子內(nèi)壁的兩塊旋片，當轉子旋轉時，始終沿定子的內(nèi)壁滑動。