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用于真空的準(zhǔn)分子紫外線系統(tǒng)介紹
2、大量產(chǎn)生激發(fā)態(tài)氧原子
Eximer真空光源和準(zhǔn)分子真空靜電消除器
易于安裝到帶 ICF114 法蘭的真空室視口。
通過(guò)使用風(fēng)冷準(zhǔn)分子燈的簡(jiǎn)單系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了低成本和高性能。 可以瞬時(shí)打開(kāi)和關(guān)閉。
特征
真空室等靜電問(wèn)題的對(duì)策
卷對(duì)卷薄膜抗靜電
晶圓等靜電卡盤(pán)的吸附和運(yùn)輸措施
防止因電氣化而吸附異物的對(duì)策
電子顯微鏡的靜電對(duì)策
通過(guò)帶電實(shí)現(xiàn)均勻的薄膜厚度，防止針孔
規(guī)范
| 波長(zhǎng) | 172 納米 |
| 真空法蘭端口 | ICF114 （兼容JIS法蘭） |
| 冷卻方式 | 風(fēng)冷 |
| 功能 | 燈亮起、熄滅 |
| 光源尺寸 | 寬 300 x 高 157 x 深 180 mm |
| 電源尺寸 | 寬 250 x 高 133 x 深 200 mm |
| 權(quán)力 | AC100V 50/60Hz 2A 帶接地端子 |
| 氣 | N2 |
| 電纜長(zhǎng)度（燈~(yú)電源） | 0，5 米 |
| 環(huán)境規(guī)格 | 溫度15-30°C，濕度20-80%，無(wú)冷凝、腐蝕、振動(dòng)的環(huán)境條件。 |
相關(guān)產(chǎn)品
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