薄膜真空計(jì)是迄今為止得到*的可作為低真空測量（0.01--100Pa）工作副標(biāo)準(zhǔn)的一種真空儀器，

其原理是把加于電容薄膜上的壓力變化產(chǎn)生膜片間距離的變化，即產(chǎn)生了電容的變化，再通過鑒頻器把電容變化轉(zhuǎn)換成為電流或電壓的變化，組成為輸出信號，所以，它的測量是直接反映了真空壓力的變化值，而且只與壓力有關(guān)，與氣體成分無關(guān)，即：薄膜真空計(jì)是一種直接測量式的、全壓型的真空計(jì)。

而我們常用的真空計(jì)往往是電阻計(jì)、熱偶計(jì)居多，是一種間接測量的真空計(jì)，是一種熱傳導(dǎo)型的真空測量方法，簡單一點(diǎn)來說，就是通過測量感受氣體溫度的方法來間接測量氣體壓強(qiáng)（真空度），是一種類似于大家很熟悉熱電阻、熱電偶的測量方法。由于測量原理上的先天不足，這類真空計(jì)的測量精度、測量穩(wěn)定度是很不好的。其測量誤差一般比薄膜真空計(jì)大1~2個(gè)以上數(shù)量級（誤差大于30%），尤其是在粗低真空段，誤差甚至大到令人無法置信。但是由于它制造容易、價(jià)格低廉，在許多的要求較低真空設(shè)備上還普遍使用著。許多人抱怨花了3、4千元買到進(jìn)口的真空傳感器也誤差很大，就是因?yàn)槔贤獾倪@個(gè)價(jià)位的產(chǎn)品還是老的熱傳導(dǎo)測量機(jī)理的真空傳感器。

現(xiàn)在真空應(yīng)用技術(shù)的發(fā)展，真空應(yīng)用設(shè)備對儀器儀表的要求越來越高，特別是對測量精度、穩(wěn)定性要求、以及自動(dòng)控制性能要求也越來越高，因?yàn)檫@直接關(guān)系到真空設(shè)備的整體性能質(zhì)量，關(guān)系到真空應(yīng)用技術(shù)或應(yīng)用工藝的應(yīng)用效果，甚至于成功與否。在精細(xì)化工、真空冶煉、真空熱處理、真空浸漬、真空冷凍干燥、真空絕緣處理、電真空器件、半導(dǎo)體材料生產(chǎn)、高特新材料、新能源設(shè)備等等行業(yè)中尤其特出。

許多新設(shè)備、新工藝、新產(chǎn)品的開發(fā)無法得到預(yù)想的技術(shù)指標(biāo)，很可能就是真空測控儀表選型不當(dāng)、測量控制精度無法達(dá)到要求所致。

當(dāng)然，薄膜真空計(jì)也不是*的，首先是價(jià)格高，國內(nèi)一般是4-6千元，量限低的貴些；進(jìn)口則1.6—2.5萬元/只左右；其次，國內(nèi)老式的薄膜規(guī)容易零漂，需要經(jīng)常校正，要求高的經(jīng)常校正。主要是技術(shù)陳舊，國內(nèi)材料科學(xué)相對落后造成的，溫度穩(wěn)定性不好；還有一個(gè)量程跨度小，國內(nèi)的不超過3個(gè)數(shù)量級。第三是國產(chǎn)規(guī)嬌氣，容易壞，有油污進(jìn)去很難清洗，要用丙酮，清洗挽救1\3往往會(huì)報(bào)廢，小量程的2\3會(huì)壞。

所以，我們需要有一種具有國產(chǎn)價(jià)格、進(jìn)口品質(zhì)的薄膜真空計(jì)。

國外的薄膜真空計(jì)與我們舊式國產(chǎn)產(chǎn)品的相比有什么不同呢？一是陶瓷薄膜真空壓力測量技術(shù)、二是智能儀表技術(shù)。首先是通過大規(guī)模厚膜電路，將薄膜電容測量機(jī)構(gòu)和傳感器調(diào)理電路微型化，做在陶瓷基片上，另外，將智能儀表電路微型化，一次儀表和二次儀表合二為一，所以量程寬、精度高、體積小；

現(xiàn)在，國內(nèi)學(xué)習(xí)和引進(jìn)*技術(shù)，根據(jù)我們真空設(shè)備配套測控儀表的特點(diǎn)，研制出的陶瓷薄膜真空計(jì)，其測量精度和穩(wěn)定性已經(jīng)*可以與進(jìn)口產(chǎn)品相媲美了。

當(dāng)然，真正要做好高精度的薄膜真空計(jì)zui重要的、也是zui為關(guān)鍵的一步是：計(jì)量校準(zhǔn)和規(guī)范的量值傳遞；

經(jīng)過多年的艱苦奮斗，我國已經(jīng)建立了*的、科學(xué)的、系統(tǒng)的計(jì)量體系（CNAS）;真空度計(jì)量屬于壓力計(jì)量；要保證產(chǎn)品的高精度，還必須嚴(yán)格遵循CNAS的規(guī)范要求、建立相應(yīng)的企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)、適時(shí)量值傳遞檢定等等工作，這方面國內(nèi)企業(yè)往往容易忽略。。。。。。

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